Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4100SR #293758800 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4100SR ist ein Hochleistungs-Ionenätzer/-ascher, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist in der Lage, mit sehr hoher Auflösung und Selektivität zu ätzen. CANON ILD-4100SR verfügt über eine breite Palette von Prozessen, mit der Fähigkeit, bis zu 8 Zoll Wafer mit einer Gleichmäßigkeit von +/- 10% zu ätzen, während die Wiederholbarkeit innerhalb von +/- 1% ist. Das Werkzeug ist ideal für hochpräzise Anwendungen, die eine hohe Wiederholbarkeit sowohl in Bezug auf Zeit als auch Materialstärke erfordern. ANELVA ILD-4100 SR nutzt die Ionenstrahltechnologie und ermöglicht das Ätzen von Materialien mit geringem bis keinem Materialverlust. Das Verfahren ist zudem äußerst effizient, mit geringem Ressourcenverbrauch und geringer Restspannung. Das Gerät kann mit verschiedenen Parametern, wie Ätzzeit und Strahlstrom, programmiert werden, um für jede Anwendung eine optimierte Ätzung zu erzeugen. CANON ILD 4100SR verfügt auch über ein Stickstoffgehäuse, um eine niedrige Partikelzahl, eine Hochvakuumkammer und ein Verschlusssystem beizubehalten, um das Ätzen außerhalb des Maskenbereichs zu minimieren. Es verwendet auch eine patentierte Gasfiltereinheit, die in der Lage ist, O2, N2 und CxHx (x ist eine Zahl) Moleküle aus der Prozesskammer zu entfernen. Dieser Filtrationsprozess trägt dazu bei, eine hohe Oberflächenglätte und eine perfekte Veredelung der Teile zu gewährleisten. Die Ätzrate von ANELVA ILD 4100 SR kann über seine Zwei-Frequenz-Einstellungen moduliert werden, was eine Feinabstimmung der Ätzung ermöglicht. Die Maschine kann auch ein Echtzeitbild des Prozesses anzeigen, was eine sofortige Rückmeldung der Ergebnisse ermöglicht. Dies hilft, konsistente, genaue Ätz- und Ascheergebnisse zu gewährleisten. ANELVA ILD-4100SR kommt auch mit einer Reihe von speziellen Funktionen, wie Hochvakuumpumpen, Low-Residual-Stress-Beschichtung, Zink-Guss-Formation und W-Mode-Dotierung. Diese zusätzlichen Merkmale sollen einen größeren Anwendungsbereich bieten, wie die Beschichtung von Kontaktöffnungen auf einem Wafer oder die Ausbildung einer Schicht auf einem Quarzwafer. CANON/ANELVA ILD-4100SR ist ein High-End-Ionen-Ätzer/Ascher mit einer Reihe von einzigartigen Eigenschaften. Seine technologischen Fähigkeiten sind auf Präzision und Hochleistungsfertigung ausgelegt, und seine zusätzlichen Sonderfunktionen verleihen ihm mehr Flexibilität. Zusammen bilden diese Bauelemente ein leistungsfähiges Werkzeug zum Ätzen von Halbleitermaterialien.