Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4100SR #9161261 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4100SR ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher zur Herstellung mikroelektronischer Geräte. Es kombiniert fortschrittliches Ionenstrahl-Ätzen und flache anisotrope Ätztechnologie, um eine breite Palette von Ätzparametern zu ermöglichen. CANON ILD-4100SR wurde entwickelt, um einheitliche, saubere und präzise Ätzungen zu erzeugen, die für eine Vielzahl von Herstellungsverfahren für mikroelektronische Bauelemente verwendet werden können. ANELVA ILD-4100 SR verfügt über eine feste Vorwärtsbasis-Struktur, die minimale Wartungsanforderungen gewährleistet. Es ist aus Edelstahl gefertigt und seine Außenseite ist korrosionsbeständig und leicht zu reinigen. Die Ätzkammer ist speziell für Ätz- und Ascheprozesse ausgelegt und mit einem hochpräzisen Positioniersystem ausgestattet. Die Kammer hat eine Kammergröße von 200mm x 200mm x 80mm und kann sowohl atmosphärische als auch Vakuumätzbedingungen unterstützen. ANELVA ILD-4100SR ist in der Lage, Materialien mit einer Vielzahl von Ätzparametern wie ILD (Inductively Coupled Plasma), CF4, SF6 und CCl2F4 zu ätzen. Es unterstützt sowohl reaktives Ionenstrahl als auch Ionenstrahl-induziertes Ätzen. Es ist in der Lage, Ätzraten von mehr als 1400 nm/min zu erreichen und kann verschiedene Formen mit unterschiedlichen Profilen ätzen. CANON ILD-4100 SR ist sehr zuverlässig und verfügt über eine breite Palette von Prozesssteuerungsfunktionen. Es kann voreingestellt werden, um die Ionenstrahlströme, den Gasdruck, die Ätzzeit und die Ein- und Ausschaltzeiten des Substrats zu steuern. Es verfügt auch über integrierte Prozessdiagnosen, die dazu beitragen, die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Ätzens sicherzustellen. CANON/ANELVA ILD 4100 SR ist auch mit einem Laser-Aligner ausgestattet, der die Intensität des Ionenstrahlmusters aus der Ferne einstellen und die Ausrichtung des Ätzmusters überprüfen kann. Ein Infrarot-Wärmebildsystem kann die Temperatur der Ätzoberfläche messen und dem Bediener Rückmeldungen für verbesserte Ätzergebnisse liefern. ILD-4100 SR hat ein robustes, äußerst zuverlässiges Design und ist in der Lage, genaue und präzise mikroelektronische Geräteätzungen zu produzieren. Die benutzerfreundlichen Funktionen und die integrierte Prozessdiagnose sorgen für zuverlässige und wiederholbare Ätzergebnisse.