Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227368 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4100SR ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Das Gerät verwendet die neuesten Inertgas-Techniken zum idealen Ätzen oder Aschen von Wafern, MEMS-Geräten und anderen Substraten. CANON ILD-4100SR ist mit der neuesten N2O2 Steuerungstechnik für präzise und wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse mit geringen bis keinen Oberflächenschäden ausgestattet. Die Vorrichtung zeichnet sich durch eine ausgezeichnete Verträglichkeit mit einer Vielzahl von Ätz-/Ascheätzmitteln auf Fluorid- und Säurebasis sowie Kohlendioxid zum Aschen von Kieselsäure und Silicium aus. Die Ausrüstung bietet ausgezeichnete Auflösung und Präzision mit wiederholbaren Ergebnissen und verbesserter Oberflächengüte. Das integrierte Gehäuse ermöglicht den Einsatz fortschrittlicher Gaszufuhrmethoden, die mit der Smartstream-Kühlung verbunden sind, um hervorragende Ergebnisse bei Gleichmäßigkeit zu erzielen. ANELVA ILD-4100 SR ist auch mit einer Vielzahl von Prozesssteuerungsfunktionen ausgestattet, einschließlich einer internen Druck-, Durchfluss- und Temperaturregelung zum präzisen Ätzen/Aschen verschiedener Wafertypen. Das Gerät arbeitet mit einem Hochfrequenznetzteil, das im Normalbetrieb bis zu 60MHz handhaben kann. Dies ermöglicht eine präzise und genaue Kontrolle des Ätz-/Ascheprozesses. Neben der Hochfrequenz-Stromversorgung verfügt das System über eine Vielzahl weiterer fortschrittlicher Komponenten, wie einen mikroprozessorgesteuerten Kammerdruckregler und eine hocheffiziente elektromagnetische Entladungseinheit. ILD 4100SR verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, darunter eine selbsthemmende Tür, eine eingebaute Brandschutzmaschine, einen Übertemperaturalarm und ein Notabschaltwerkzeug. Darüber hinaus verfügt das Asset auch über sichere Kommunikationsprotokolle und eine integrierte Datenverschlüsselung zum sicheren Senden und Empfangen von Daten zum und vom Gerät. Insgesamt ist ILD 4100 SR ein ausgezeichnetes Ätz-/Ascher-Gerät. Es bietet einen exakten, wiederholbaren und sicheren Prozess zum Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Wafersubstraten und MEMS-Geräten. Die neuesten Inertgastechniken sowie die eingebauten Sicherheitsmerkmale machen das Modell für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet.