Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227371 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4100SR ist eine kritische Dimension Scanner Ätzer/Ascher speziell für die Massenproduktion entwickelt. Es ist eine hochpräzise und zuverlässige Maschine mit einer einzigartigen Infrarot-Vision-Ausrüstung, die eine schnelle und genaue Messung von Oberflächen-, Linien- oder Kerbmustern ermöglicht und somit ideal für Halbleiteranwendungen geeignet ist. CANON ILD-4100SR ist ein Vakuumätzer/Ascher, der das Entfernen von Materialien bis zu einer vorbestimmten Tiefe bei enger Kontrolle der Ätzrate ermöglicht. Seine Präzision wird erreicht, indem die Geschwindigkeit der Materialabtragung anstatt auf chemische Ätzung, die häufig in Ätzern/Aschern verwendet wird, kontrolliert wird. ANELVA ILD-4100 SR weist ein zweistufiges Ladesystem auf, wobei die erste Stufe die Sekundärelektronenkanone auflädt und die zweite Stufe die Infrarot-Seheinheit auflädt. Diese Lademaschine ermöglicht Präzisionseinstellungen und Kontrolle über Ätzraten. Zusätzlich wird eine induktiv gekoppelte Plasmatechnologie (ICP) verwendet, um Material gleichmäßig und abriebfrei zu entfernen. CANON ILD 4100 SR kann auch bei der Herstellung von MEMS-Komponenten (mikroelektromechanische Systeme) für Anwendungen in chipbasierten Mikroprozessoren, Biosensoren und Diagnoseanwendungen eingesetzt werden. Bei der MEMS-Herstellung ist die Maschine in der Lage, ultrafeine Kanäle und Hohlräume mit einer Tiefe von weniger als 1 Mikron zu erzeugen. Die Maschine wurde auch entwickelt, um mit einer Reihe von Ätzmaterialien zu arbeiten, einschließlich Silizium, Polysilizium, Siliziumoxid, Aluminium und III-V-Verbindungen. Ein starker Fokus auf Sicherheit und Umweltschutz zeigt sich in diesem Ätzer-/Aschermaschinen-Design mit einem großen Spektrum an Sicherheits- und Abgasmerkmalen, darunter Interlocks, Gefahrgasneutralisatoren und drehzahlventilatoren. CANON ILD-4100 SR ist auch in erweiterten Ätz- und Funktionsgrößenreduzierungsanwendungen sehr effektiv. Dies wird durch die Verwendung spezifischer Parametereinstellungen erreicht, die eine präzise Kontrolle des Ätzprozesses und der erzielten Ergebnisse ermöglichen. Abschließend ist CANON/ANELVA ILD 4100 SR ein anspruchsvolles Ätz-/Aschermaschinen-Werkzeug, das für Halbleiteranwendungen in Massenproduktion entwickelt wurde. Dank seiner Flexibilität und Anpassungsfähigkeit eignet es sich für eine Vielzahl von Prozessen sowie für die Herstellung mikroelektromechanischer Systeme und für erweiterte Anwendungen zur Ätz- und Größenreduzierung. Dank seiner starken Sicherheits- und Umwelteigenschaften ist es ideal für den Einsatz in kontrollierten und gefährlichen Umgebungen geeignet.