Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4100SR #9398262 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4100SR Ätzer ist ein fortschrittliches Ionenätzgerät zur präzisen Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen. Dieses Gerät wurde für die direkte Ioneneinspritzung entwickelt, um ein hochpräzises Ätzen von Materialien wie Silizium, Aluminium und anderen Substratmaterialien zu erreichen. CANON ILD-4100SR verfügt über eine große Vakuumkammer mit hochpräzisem Pumpsystem, Dual-Source-Ionenquelle, dreistufiges Waferträgersystem und ein computergesteuertes Plasma-Panel. Es eignet sich zum Ätzen sowohl planarer als auch nicht planarer Geometrien mit einer Formelementgröße bis zu 0,1 µm und einer Tiefe von 0,2 µm. ANELVA ILD-4100 SR ist mit unabhängig gesteuerten Roboterarmen und einer hitzebeständigen Düse ausgestattet, um eine gleichmäßige und gleichmäßige Ätzung zu gewährleisten. Die Roboterarme sorgen für präzise und wiederholbare Bewegungen, während die Düse aus Hochtemperaturmaterialien besteht, um Schäden bei Hochtemperaturprozessen zu vermeiden. Die Düse weist einen einstellbaren geführten Fokus auf, der eine Überlappung von Ionenstrahl und Substratoberfläche während des Ätzvorgangs verhindert. Dies hilft dabei, qualitativ hochwertige Ergebnisse mit minimalen Waferschäden und gleichbleibenden Ätzeigenschaften zu erzielen. ANELVA ILD-4100SR verfügt außerdem über einen Hochgeschwindigkeits-Strahlverschluss zur Steuerung der Ätzlänge. Dadurch werden kürzere Taktzeiten gewährleistet, ohne auf Qualität oder Leistung zu verzichten. Zusätzlich können Abschirmbleche in der Ätzkammer so eingestellt werden, dass Sekundärionen während des Ätzvorgangs nicht in den Arbeitsbereich gelangen. Dadurch wird die Bildung von unerwünschten Rückständen verhindert, die die gewünschten Ätzeigenschaften behindern können. ILD-4100 SR verfügt auch über erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen wie Parameterschutzmodus, extrem niedrige Stromüberwachung und Feedback-Schleifencontroller. Dies gewährleistet höchste Ätzgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus ist CANON ILD 4100 SR mit einer extrem geräuscharmen Kammer ausgestattet, um elektromagnetische Störungen zu reduzieren und eine sichere Betriebsumgebung zu gewährleisten. Insgesamt ist ILD-4100SR ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher mit überlegener Leistung und Genauigkeit. Die Kombination aus Roboterarmen, verstellbaren Düsen und Parameterschutzmodus sorgt für konsistente Ätzergebnisse bei gleichzeitiger Reduzierung der Zykluszeiten. Darüber hinaus bietet dieses System auch eine fortschrittliche Prozessüberwachung, um höchste Ätzgenauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten.