Gebraucht CANON ANELVA ILD-4100W #9158758 zu verkaufen

CANON ANELVA ILD-4100W
ID: 9158758
Wafergröße: 8"
Etcher, 8".
CANON ANELVA ILD-4100W ist ein hochpräziser Waferätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um fortschrittliche Ätz- und Ascheprozesse durchzuführen. Dieses Verfahren ergibt eine genaue Kontrolle der Schichtdicke und der Merkmalsgröße der geätzten Ergebnisse. ILD-4100W verwendet fortschrittliche ICP (Inductively Coupled Plasma) -Technologie, um die Reaktionsparameter für verschiedenste Substrate genau zu steuern. Das System verfügt über eine starke robuste Konstruktion und ein einzigartiges, einfach zu bedienendes Design, das einen schnellen Betrieb und eine einfache Wartung gewährleistet. Das Gerät besteht aus einer ICP-Quelle, einer Elektrode und einem Waferträger. Die ICP-Quelle versorgt das Plasma durch ein HF-Signal. Dadurch ergibt sich eine intensive Plasmaentladung, die für das Ätzen von Wafern mit Submikron-Merkmalsgrößen vorteilhaft ist. Die ICP-Quelle bietet auch eine breite Palette von Leistungsstufen, die leicht angepasst werden können, um die Ätzeigenschaften feinjustieren. Die Elektrode dient als Primärelektrode, an der die HF-Spannung angelegt wird. Er erzeugt den ursprünglichen Ätzpfad auf die zu bearbeitenden Substrate. Schließlich hält der Waferträger die Substrate im System fest, während der Ätzvorgang stattfindet. Die Anelva CANON ANELVA ILD-4100W bietet zudem eine präzise Kontrolle über Ätzgeschwindigkeit und Konsistenz sowie die Ätzselektivität. Dies macht es ideal für eine Vielzahl von anspruchsvollen Anwendungen wie MEMS-Herstellung, Halbleiterherstellung, Leiterplattenbearbeitung sowie Präzisionsscheibenherstellung. Die Vorrichtung ist in der Lage, sowohl Einzelwafer- als auch Mehrwafersubstrate zu verarbeiten und ist an eine Vielzahl von Materialien anpassbar, darunter Aluminium, Silizium, Keramik, Metalle und mehr. Darüber hinaus können ILD-4100W mit einer Vielzahl von zusätzlichen Komponenten wie einem Gaskasten, einer Vakuumbox, einem Gassensor, einer einzigen Waferübertragungskammer, einer Duplexkammer, einem Gasfilter und mehr ausgebildet sein. Diese zusätzlichen Komponenten ermöglichen es Benutzern, den Prozess weiter an ihre Bedürfnisse und Anforderungen anzupassen. Darüber hinaus verfügt das System über einen intuitiven LCD-Bildschirm, der eine einfache Bedienung und Überwachung ermöglicht. CANON ANELVA ILD-4100W ist eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die einen präzisen, zuverlässigen Ätzer/Ascher für industrielle und akademische Anwendungen benötigen. Seine fortschrittlichen technologischen Eigenschaften sorgen für leistungsstarke Ergebnisse im Einzel- oder Mehrfachwaferbetrieb. Dies macht es zu einer idealen Wahl für viele industrielle und akademische Anwendungen, die hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse erfordern.
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