Gebraucht CANON MAS 8220 #9157615 zu verkaufen

CANON MAS 8220 ist eine Tandem-Achsen-elektrochemische Ätz-/Ascheausrüstung, die bis zu 30 Wafer gleichzeitig verarbeiten kann. Es eignet sich für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen. Das System verwendet ein zweistufiges Ätzverfahren, das Vorätzen bzw. Nachätzen umfasst, das eine präzise Ätzung von Strukturen mit hohem Seitenverhältnis gewährleistet. Der Pre-Etch ist auf die Erstellung tiefer und genauer Strukturen mit hohem Seitenverhältnis zugeschnitten. Zur Bedienung und Überwachung der Ätz- und Ascheprozesse ist eine intuitive Software-Steuerung im Lieferumfang enthalten. CANON MAS-8220 ist mit zwei leistungsstarken, unabhängigen Ätz- und Ascheschiffen ausgestattet, die jeweils über eine eigene Stromversorgung verfügen. Die Stromversorgung verteilt: ein Gleichstrom, Wechselstrom und gepulster Gleichstrom, separat auf jedes Gefäß gesteuert. Dies ermöglicht eine präzise Leistungsregelung für jedes Gefäß unter Beibehaltung einer stabilen Ätzrate und eines entsprechenden Ätzratenübergangs. Die Ätzparameter sind anpassbar, einschließlich Ätzgrößen, wie Prozesszeit und Temperatur, sowie Ätzreagenzien, Konzentrationen und zusätzlichen Katalysatorreagenzien. MAS 8220 verfügt über eine innovative Filtrationsmaschine, die hochpräzise Filter verwendet, um sicherzustellen, dass die Reagenzien frei von Partikeln sind. Das Filtrationswerkzeug dient auch dazu, die Reagenzien zu recyceln und ihre Lebensdauer zu verlängern. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein eingebautes chemisches Kühl- und Heizmodell, das hilft, die Temperaturbilanz während des Ätzprozesses aufrechtzuerhalten und die Prozesstemperatur zu steuern. MAS-8220 umfasst bis zu 99 programmierbare Prozessmodi, die maximale Prozessflexibilität und maßgeschneiderte Prozesssteuerung ermöglichen. Die Ausrüstung ist auch so konzipiert, dass sie in nassen Bänken oder in einer Dunstabzugshaube eingesetzt werden kann, was eine optimale Benutzersicherheit ermöglicht. Das System bietet auch eine breite Palette von Prozesssteuerungsoptionen, von einfachen manuellen Einstellungen bis hin zu vollautomatischen Prozessabläufen. Zusätzlich kann die Software des Geräts zur Überwachung und Pflege der gewünschten Ätzparameter programmiert werden. CANON MAS 8220 ermöglicht Laboratorien und Produktionsanlagen eine hohe Präzision und Genauigkeit für eine Reihe von Anwendungen zu erreichen, einschließlich: Halbleiterbauelemente Lithographie, Dünnschichtbauelementverarbeitung, MEMS-Bauelementherstellung, biochemische Anwendungen und vieles mehr. Die intuitive Bedienung und Präzisionsätzfunktionen der Maschine machen sie zu einer idealen Wahl für fortgeschrittene Anwender in anspruchsvollen Industrie- und Laborumgebungen.