Gebraucht CELLO Nasca-20 Plus #293822837 zu verkaufen

Hersteller
CELLO
Modell
Nasca-20 Plus
ID: 293822837
Weinlese: 2006
Inductively Coupled Plasma (ICP) Etcher HANBELL PS80-S Dry vacuum pump 2006 vintage.
CELLO Nasca-20 Plus ist eine hochmoderne Ätz-/Aschereinrichtung für hochpräzise Oberflächenbehandlungsprozesse in Halbleiterfertigungs- und Forschungseinrichtungen. Dieses fortschrittliche System kombiniert modernste Technologie mit benutzerfreundlichen Funktionen, um außergewöhnliche Ergebnisse in Bezug auf Gleichmäßigkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit zu erzielen. Hauptmerkmale: 1. Dual-Mode-Betrieb: Nasca-20 Plus bietet Dual-Mode-Betrieb, so dass Benutzer zwischen Ätz- und Ashing-Prozesse mit Leichtigkeit zu wechseln. Diese Flexibilität ermöglicht ein breites Anwendungsspektrum, vom Photoresist Strippen über Materialabtragung und Mustertransfer. 2. Hochauflösendes Ätzen: Mit einem Präzisionsdüsen-Design und einer Feinstrahl-Steuerung erreicht CELLO Nasca-20 Plus hochauflösendes Ätzen mit Submikron-Genauigkeit. Diese Detailtreue ist entscheidend für komplizierte Muster und Strukturen auf Halbleiterscheiben und anderen Substraten. 3. Einheitliche Verarbeitung: Die Einheit ist mit fortschrittlichen Gaszuführungs- und Plasmaerzeugungsmechanismen ausgestattet, um eine gleichmäßige Verarbeitung über die gesamte Substratoberfläche zu gewährleisten. Diese Gleichmäßigkeit ist wesentlich, um konsistente Ergebnisse zu erzielen und Variationen in der Geräteleistung zu minimieren. 4. Echtzeit-Überwachung: Nasca-20 Plus verfügt über Echtzeit-Überwachungs- und Prozesssteuerungsfunktionen, um Ätz-/Ascheparameter für jede spezifische Anwendung zu optimieren. Anwender können wichtige Leistungsmessgrößen wie Gasdurchflussraten, Plasmadichte und Temperatur überwachen, um Prozessstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. 5. Automatisierte Wafer-Handhabung: Die Maschine ist für die nahtlose Integration in Halbleiterfertigungsleitungen mit automatisierten Wafer-Be- und Entladefunktionen konzipiert. Dies ermöglicht eine kontinuierliche Bearbeitung mehrerer Wafer ohne manuellen Eingriff, Erhöhung des Durchsatzes und der Produktivität. 6. Verbesserte Sicherheitsmerkmale: CELLO Nasca-20 Plus ist mit verschiedenen Sicherheitsmerkmalen wie Verriegelungen, Gassensoren und Notabschaltmechanismen ausgestattet, um den Schutz des Bedieners zu gewährleisten und Unfälle während des Betriebs zu verhindern. Diese Sicherheitsmaßnahmen entsprechen den Industriestandards und -vorschriften. 7. Einfache Wartung: Das Tool ist für einfache Wartung und Wartbarkeit konzipiert, mit komfortablem Zugriff auf kritische Komponenten und Subsysteme. Regelmäßige Wartungsaufgaben wie Kammerreinigung, Elektrodenaustausch und Gasleitungsspülung können schnell und effizient durchgeführt werden, um Ausfallzeiten zu minimieren. 8. Fernüberwachung und -steuerung: Nasca-20 Plus bietet Funktionen zur Fernüberwachung und -steuerung, mit denen Benutzer Prozessparameter überwachen, Probleme beheben und Einstellungen von einem entfernten Standort aus anpassen können. Diese Funktion erhöht die betriebliche Effizienz und erleichtert die Zusammenarbeit zwischen Forschern und Ingenieuren. Insgesamt ist CELLO Nasca-20 Plus ein modernes Etcher/Asher-Asset, das unübertroffene Präzision, Einheitlichkeit und Zuverlässigkeit bei Anwendungen zur Halbleiteroberflächenbehandlung liefert. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, der benutzerfreundlichen Oberfläche und der robusten Leistung ist dieses Modell eine ideale Lösung für Halbleiterherstellungseinrichtungen und Forschungslabore, die überlegene Prozessergebnisse erzielen und Innovationen in der Halbleitertechnologie beschleunigen möchten.
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