Gebraucht CHEMCUT 610 #149017 zu verkaufen

CHEMCUT 610 ist eine hocheffiziente, mittelgroße, chemisch-mechanische Planarisierung (CMP) -Ausrüstung für den Einsatz in der Elektronik- und Halbleiterindustrie. Das System ist speziell für das Ätzen und Aschen von Dielektrika entwickelt, einschließlich Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Low-K-Dielektrika. Es hat eine breite Feldgröße von bis zu 330mm und einen Durchsatz von 12 Wafern pro Stunde. Das Design von 610 macht es einfacher, eine gute Planarisierung mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit zu erreichen. Es verfügt über erweiterte Funktionen, einschließlich eines druckausbalancierten Rahmens, der eine konsistente Ätztiefe über den gesamten Bereich gewährleistet; sowie eine synchronisierte Hochdruckspüleinheit, die eine überlegene CMP-Reinigung ermöglicht. CHEMCUT 610 verfügt auch über eine Regelmaschine und Software-Suite, die Prozessgenauigkeit gewährleistet, so dass Kunden kritische Schichten von Dielektrika mit dem höchsten Maß an Wiederholbarkeit und Genauigkeit ätzen können. 610 ist mit benutzerfreundlichen Bedienungs- und Wartungsfunktionen gebaut, um Ausfallzeiten zu reduzieren und die Produktivität zu erhöhen. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche sowie einen automatischen Kalibrierungsprozess, der eine genaue Prozessoptimierung sowohl für das Ätzen als auch für das Aschen von Dielektrika ermöglicht. Es ist auch mit zweistufiger DI/DI-Kaskadenfiltration ausgestattet, um eine saubere Prozessflüssigkeit zu gewährleisten und Verschmutzungen zu verhindern. Darüber hinaus verfügt CHEMCUT 610 über ein robustes und zuverlässiges Design, das einen effizienten und störungsfreien Betrieb über lange Zeiträume gewährleistet. Es ist entworfen, um eine Vielzahl von chemisch aggressiven oder gefährlichen Chemikalien zu behandeln, einschließlich Ätz- und Trockenätzgase auf Fluorbasis. So können Kunden hochkomplexe und komplizierte Strukturen mit höchstem Vertrauen schaffen. Insgesamt ist 610 ein ausgezeichnetes Produkt, das überlegenes Ätzen und Aschen von Dielektrika bei minimierten Kosten bietet. Es ist einfach zu bedienen, bietet jedoch erweiterte Fähigkeiten und ist damit eine ideale Wahl für Halbleiter- und Elektronikunternehmen mit anspruchsvollen Ätz- und Veraschungsanforderungen.