Gebraucht CI SCIENCE Torus 300K #9373223 zu verkaufen

CI SCIENCE Torus 300K
ID: 9373223
Wafergröße: 12"
Bevel etchers, 12".
CI SCIENCE Torus 300K ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für die Hochdurchsatz-Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Dieses Gerät ist in der Lage, bis zu 300 Wafer pro Charge zu verarbeiten, was eine schnelle Verarbeitung mehrerer Geräte gleichzeitig ermöglicht. Hauptkomponenten dieses Systems sind die Prozesskammer, die Partikelmeßeinheit, die Temperaturregelung und der Mikrocontroller. Die Prozesskammer ist so konzipiert, dass die Oberflächenverschmutzung durch eine Reihe von Filtern minimiert wird, während die Partikelmessmaschine sicherstellt, dass der Wafer vor der Verarbeitung frei von Partikeln ist. Die Temperaturregelung ist notwendig, um die Temperatur des Werkzeugs zu steuern und verwendet einen fortschrittlichen PID-Steueralgorithmus, um eine hohe Genauigkeit zu erreichen. Der Mikrocontroller dient zur Steuerung des gesamten Assets und ermöglicht eine präzise Steuerung aller Komponenten. Das Modell ist mit einem Hochfrequenz-HF-Generator ausgestattet, der die Erzielung eines hohen Seitenverhältnisses ermöglicht und die Verwendung einer optionalen programmierbaren Quelle die Erstellung komplexer Profile für sich wiederholende Prozesse ermöglicht. Dieses Gerät ist auch mit einer Mehrzonen-Abgasanlage ausgestattet, die eine verbesserte Reinigung der Vakuumkammer nach jedem Prozesslauf ermöglicht. Das Gerät ist auch mit einem optionalen Mikroskop ausgestattet, das eine visuelle Inspektion von bearbeiteten Wafern vor dem Versand ermöglicht. Darüber hinaus bietet die Maschine ein automatisches Planungs- und Protokollierungstool, das eine einfache Verfolgung und Analyse von Prozessen ermöglicht. Die Flexibilität der Anlage ermöglicht die Nutzung von Nassätz- und Trockenätzprozessen mit einer einzigen Maschine, und seine kostengünstige Wartung macht Torus 300K zu einer idealen Wahl für jede Umgebung mit hohem Durchsatz. Mit seinem effizienten Design und seiner zuverlässigen Leistung bietet CI SCIENCE Torus 300K ein unschlagbares Wertangebot für jeden Halbleiterherstellungsprozess.
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