Gebraucht CI SCIENCE Torus 300K #9402271 zu verkaufen

ID: 9402271
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Bevel etcher, 12" 2006 vintage.
CI SCIENCE Torus 300K ist eine fortschrittliche Elektronenstrahl-Lithographie-Ausrüstung, die für branchenübliche Ätz- und Ascheanwendungen entwickelt wurde. Dieses System verfügt über eine einzigartige Kombination von Funktionen, die ein breites Spektrum an Ätzanforderungen abdecken, von ultrahoher Auflösung bis zu hoher Produktivität. Das Gerät besteht aus einer leistungsstarken Mittelenergie-Elektronenkanone, einer mehrachsigen Stufe, einer hochempfindlichen optischen Abbildungskomponente und einer anspruchsvollen computergesteuerten Steuerungsmaschine. Die Pistole erzeugt energiereiche Strahlen, die auf die Oberfläche des zu ätzenden Substratmaterials einwirken und winzige gezackte Einfälle erzeugen. Die Bildkomponente erfasst die vom Strahl erzeugten Linienmuster und die mehrachsige Stufe ermöglicht eine präzise Positionierung des Strahls, um ein Muster zu erzeugen. Torus 300K kann Linien-/Raumauflösung bis zu 10 Nanometer beim Ätzen und 5 Nanometer beim Aschen erreichen. Es verfügt auch über pulsierende Fähigkeit für optimiertes Ätzen und ein variables Passwerkzeug zur Herstellung mehrerer Schichten in verschiedenen Tiefen in einem Durchgang. Die mitgelieferte Computeranlage umfasst spezielle Software zur Programmierung von kundenspezifischen Mustern und automatisierten Prozessen, die eine schnelle und genaue Ätzung sowie eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit über mehrere Durchläufe gewährleistet. Dieses Modell eignet sich für eine Reihe von Anwendungen, von MEMS und anderen Mikro-Scale-Herstellung bis 3D-Druck. Es ist unglaublich vielseitig und ist ein gewaltiges Werkzeug sowohl für die Forschung als auch für die kommerzielle Produktion. CI SCIENCE Torus 300K hat auch eine Druckkammer für den Betrieb im Vakuum und anderen ähnlichen Niederdruckumgebungen angebracht. Alles in allem ist es ein leistungsstarkes und fortschrittliches Werkzeug, das alle Ätz- und Veraschungsanforderungen erfüllt.
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