Gebraucht CORIAL 300 iL #293634078 zu verkaufen

CORIAL 300 iL ist ein kompaktes, hochdurchsatz- und kostengünstiges reaktives Ionenätzgerät (RIE). 300 iL verwendet proprietäre Wechselstromfrequenzen mit einer breiten Palette von Parametern, die eine breite Palette von Anwendungen ermöglichen. Das System verfügt über eine hohe Seitenverhältnisätzfähigkeit mit ausgezeichneter Prozesswiederholbarkeit und überlegener Waferbehandlung. CORIAL 300 iL bietet die Flexibilität der Verarbeitung aller verfügbaren Materialien, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Polymere, Metalle, Nitride, Oxide und Dielektrika. Diese fortschrittliche atomare Ätzeinheit verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche mit umfassenden Rezeptaufbaufunktionen, mit denen Benutzer ihre eigenen Ätzrezepte anpassen können. Es verfügt auch über eine visuelle Wafer-Abbildung und automatische Wafer-Tracking-Maschine, die die Wiederholbarkeit verbessert und die Notwendigkeit einer manuellen Prozesssteuerung eliminiert. 300 iL hat einen schnellen, hohen Quantenwirkungsgrad und Niederspannungs (0- 1 V) -Ionenpistole Mikrowellengenerator für Präzisionsätzfunktionen. CORIAL 300 iL ist mit einer Hochleistungs-Turbopumpe ausgestattet, die ein Vakuum von 5x10-7 Torr für überlegene Ätzraten erreichen kann. Es hat auch ein Partikelfiltrationswerkzeug, um höchste Sauberkeit zu gewährleisten. Die eingebauten Sicherheitsfunktionen umfassen einen Gasleckdetektor, eine Drucküberlastverriegelung sowie einen Brand- und Gassicherheitsschalter, der eine sichere Betriebsumgebung bietet. Zusätzlich bietet 300 iL mehrere Prozessrezepte und Sanierungsmöglichkeiten und ist mit bis zu drei Kammern erweiterbar. CORIAL 300 iL ist ein idealer reaktiver Ionenätzer/Ascher für massenhafte Hightech-Komponenten wie MEMS und andere Mikrodevices. Es ist einfach zu bedienen und hat konsistente Leistung, so dass es ein unschätzbares Werkzeug für industrielle F&E und Produktionsanlagen.