Gebraucht CORIAL 300 iL #293818173 zu verkaufen
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CORIAL 300 iL ist eine Hochleistungs-Ätz- und Aschemaschine für die präzise Dünnschichtverarbeitung. Dieses System wurde entwickelt, um höchste Präzision im Ätz- und Ascheprozess zu erreichen und gleichzeitig eine hervorragende Prozesskontrolle zu gewährleisten. Es verfügt über eine hochenergetische fokussierte Ionenstrahlquelle (FIB), um dem Substrat einen Präzisionsstrom von Strahlionen zur Verfügung zu stellen. Mit dem FIB können auch verschiedenste Materialien wie Gold, Kupfer, Graphit und Silizium exzellent verarbeitet werden. Darüber hinaus verfügt es über eine patentierte Advanced Recipe Technology (ART), die eine Strukturierung mit hoher Positionsgenauigkeit ermöglicht. Zum Aschen verwendet 300 iL Mikrowellen-HF und eine schnell beheizbare Ätzkammer, um eine schnelle und effiziente Entfernung von Photolack und anderen Materialien zu ermöglichen. Das Gerät verfügt außerdem über eine hocheffiziente Kühlmaschine, um sicherzustellen, dass der Ätz- oder Ascheprozess bei der idealen Temperatur für optimale Leistung abgeschlossen wird. Darüber hinaus ist CORIAL 300 iL in der Lage, in mehreren Modi zu arbeiten, einschließlich parallelem Ätzen und Aschen, sequentiellem Ätzen und Aschen und hoher Ätzrate. Diese Flexibilität macht es ideal für Anwendungen wie die Herstellung von Feinlinienmustern und Gerätestrukturen in der Mikroelektronik. Darüber hinaus bietet das Tool eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur Steuerung jedes Prozessschritts und ist mit einem leistungsstarken Mikroprozessor und einem integrierten Computer ausgestattet, um die Prozesssteuerung in Echtzeit zu verbessern. 300 iL ist ein zuverlässiges Werkzeug zur Ausführung von Präzisionsätz- und Ascheprozessen. Die Kombination aus hoher Ionenstrahlintensität, schneller Mikrowellenasche, zuverlässiger Kühlung und fortschrittlicher Rezepttechnologie sorgt für zuverlässige Prozesskontrolle und ausgezeichnete Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus ist das Modell vollständig konfigurierbar und in der Lage, sich an die sich ändernden Anforderungen moderner Fertigungsprozesse anzupassen.
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