Gebraucht CORIAL 300 iL #9267214 zu verkaufen

CORIAL 300 iL ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für eine breite Palette von mikroelektronischen Anwendungen. Der Ätzer/Ascher ist entworfen, um verschiedene Photoresist Ätzanforderungen zu erfüllen, unter Verwendung einer Vielzahl von Materialien und Ätzungen, die Aluminium, Wolfram, Polyimid, Kupfer und Silizium umfassen. Mit 300 iL lassen sich Substrate bis 750 mm Größe verarbeiten, mit Prozesstemperaturen bis 200 ° C und Treibstoffdrücken bis 850 mbar. Der Ätzer verfügt zudem über eine präzise Temperaturregelung, die eine Verarbeitungsgenauigkeit von bis zu ± 0,03 ° C ermöglicht. Die modulare Prozesskammerkonstruktion gewährleistet zuverlässige, qualitativ hochwertige Ergebnisse mit Gleichmäßigkeitskriterien von +/- 0,9 Prozent Beladung und vollständiger Nitridisolierung für hervorragende thermische Leistung, was zu einer verbesserten Ätzqualität führt. CORIAL 300 iL ist robust aufgebaut und für den Langzeiteinsatz geeignet, mit einer Rundrobinkonfiguration für unabhängige Bearbeitungsbereiche, die gleichzeitig für verschiedene Substrate und Ätzungen eingesetzt werden können. Der Ätzer verfügt außerdem über ein isoliertes FPT-schaltbares Gaseinspeisepanel, das schnelle Gaswechsel ermöglicht und so Ausfallzeiten minimiert. 300 iL ist mit einer kompletten Suite benutzerfreundlicher Prozesssoftware ausgestattet, was die Inbetriebnahme und den Expertenbetrieb einfach und bequem macht. Die Prozesssteuerungssoftware umfasst integrierte Prozessrezepte, effektive Zykluszeitoptimierung, universelle Parameterabbildung und erweiterte Flusssteuerung. CORIAL 300 iL ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher mit ausgezeichneter Prozessleistung und Zuverlässigkeit, die es für High-End-Industrie- und Forschungsanwendungen geeignet machen. Es bietet ein hohes Maß an Flexibilität und Funktionalität für das Ätzen von Substraten einschließlich Siliziumscheiben und MEMS-Komponenten.