Gebraucht CORIAL 300 iL #9272935 zu verkaufen

Hersteller
CORIAL
Modell
300 iL
ID: 9272935
Weinlese: 2011
ICP Etcher 2011 vintage.
CORIAL 300 iL Ätzer/Ascher ist für Anwendungen mit hohem Durchsatz konzipiert und bietet hervorragende Übertragungseigenschaften. Es verfügt über eine breite 300 Millimeter Prozesskammer mit 8 Lastschlössern und ist mit 24 Wafern Adapter Roboter für bequeme Wafer Be- und Entladen ausgestattet. 300 iL ist auch mit mehreren Kommunikationsschnittstellen für Prozessschnittstellen und flexible Rezeptkonfigurationen ausgestattet, wodurch es an eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen anpassbar ist. CORIAL 300 iL ist für hochpräzise Prozesse konzipiert und verfügt über eine Reihe von automatischen Funktionen, die eine konstant hohe Ätzgleichmäßigkeit gewährleisten. Sein fortschrittliches Motorsteuerungssystem sorgt für hohe Geschwindigkeit und Genauigkeit bei minimaler Vibration und thermischer Verzerrung. Die hohen Durchsatzraten ermöglichen kürzere Prozesszeiten und einen höheren Gesamtdurchsatz. 300 iL unterstützt verschiedene Prozessgase und Chemikalien wie Sauerstoff (O2), Stickstoff (N2), Kohlendioxid (CO2), Argon (Ar) und Silan (SiH4). CORIAL 300 iL ist vollautomatisch, mit automatischer Steuerung von Druck, Temperatur und Vakuum. Es ist mit einer automatischen Gasstromregelung für eine präzise und wiederholbare dynamische Steuerung während der Ätz- und Ascheprozesse ausgestattet. Das Kammerdesign ermöglicht einen einfachen Zugang zur Prozesskammer und bietet eine effektive Eindämmung von Gasen, wodurch es sicher und effizient zu bedienen ist. 300 iL bietet zudem reduzierte Prozessmessungen sowie minimierte Ausfallzeiten. Es verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie Druck- und Leckageüberwachung und kann problemlos in bestehende Produktionsumgebungen integriert werden. Die mehrfachen Kommunikationsschnittstellen des Systems bieten eine einfache Kommunikation zwischen anderen Systemen und mit dem Host-Computer und ermöglichen eine effiziente automatische Prozesssteuerung. Insgesamt ist CORIAL 300 iL Ätzer/Ascher eine ausgezeichnete Wahl für Anwender, die nach hochpräzisen Ätz- und Ascheprozessen suchen. Die fortschrittlichen Funktionen gewährleisten eine konstant hohe Ätzgleichmäßigkeit und reduzieren die Prozesszeiten und Ausfallzeiten erheblich. Darüber hinaus ermöglichen die vielfältigen Kommunikationsschnittstellen eine einfache Integration in bestehende Produktionsumgebungen und eine effiziente automatische Prozesssteuerung.
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