Gebraucht CORIAL 300 iL #9272940 zu verkaufen

CORIAL 300 iL Endpoint Etcher/Asher ist ein Präzisions-Batch-Ascher für die Waferätz- und Strippindustrie. 300 iL ist eine automatisierte, vollständig verkapselte, schwingungsarme und gasarme thermische Vorrichtung, die eine sehr enge Prozesssteuerung von Ätz- und Reinigungsmaterialien ermöglicht. Das Gerät verfügt über ein zentral gelegenes patentiertes Mehrrichtungsdüsensystem und eine SiC-Heizung mit großer Kapazität. CORIAL 300 iL Endpoint Etcher/Asher bietet eine Reihe von Funktionen, die entwickelt wurden, um den Durchsatz und die Qualität der Prozesse auf dem Gerät zu erhöhen. Das Gerät ist in der Lage, einen extrem wiederholbaren Endpunkt mit einem möglichen Fehler bis zu 0,1 μ m/cm bereitzustellen. Mit 8 programmierbaren Zonen und bis zu 10 Prozessrezepten, die im Speicher gespeichert sind, bietet 300 iL ein Maß an Flexibilität und Präzision, das von herkömmlichen Batch-Aschern unübertroffen ist. Die Maschine bietet auch die Möglichkeit der Temperaturgleichförmigkeit von ± 2 ° C über das Substrat und einen Temperaturbereich von 2 ° C bis 200 ° C. Die innerhalb von CORIAL 300 iL einsetzbaren Prozessgase reichen unter anderem von Stickstoff, Argon, Ameisensäure und Aceton. Das Werkzeug ist mit einem Inertgasversorgungs- und Spülmechanismus ausgestattet, der sicherstellt, dass das Gut für jedes Prozessrezept mit Frischgas gespült wird und somit die höchste Verschmutzungssteuerung gewährleistet. 300 iL verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, einschließlich Not-Aus, Gas und Stromabschaltung, und eine Niederspannung, Hochstrom-Temperierschalter. Das Modell verfügt auch über akustische und visuelle Alarme, um die Betreiber vor Alarmzuständen zu warnen. Die Ausrüstung ist aus langlebigem CERTACHROM Edelstahl gefertigt und auch sehr konfigurierbar. Eine Vielzahl von Waferhaltern kann auf dem System installiert werden, und das Gerät kann mit den Ethernet-Verbindungen von CORIAL 300 iL in die bestehende Infrastruktur eines Kunden integriert werden. Abschließend bietet 300 iL Endpoint Etcher/Asher eine flexible, hochpräzise und sichere Lösung für die Ätz- und Strippindustrie. Mit seiner ausgezeichneten Präzision, Wiederholbarkeit und Temperaturkontrolle ist CORIAL 300 iL ausgezeichnet für jeden Prozess, der ein kontrolliertes, lokalisiertes oder mehrstufiges Ätzen oder Abisolieren erfordert.