Gebraucht CORIAL 300 iL #9272962 zu verkaufen

Hersteller
CORIAL
Modell
300 iL
ID: 9272962
Weinlese: 2011
ICP Etcher Missing parts: Turbo pump controller Chuck 2011 vintage.
CORIAL 300 iL ist ein Hochleistungs-Induktiv-Plasmaätzer und Aschereinrichtung. Dieses System bietet außergewöhnliche Leistung und Zuverlässigkeit, indem es einen patentierten induktiven Plasmagenerator verwendet, um höhere Plasmaionisationsstufen als herkömmliche kapazitive gekoppelte Systeme bereitzustellen. Dadurch hat es sich sowohl beim Ätzen als auch beim Aschen unterschiedlichster Materialien bewährt. 300 iL verfügt über einen kompakten, pulsbildenden Generator, der eine präzise Steuerung der Gaszufuhr ermöglicht, eine stabile und gleichmäßige Plasmadichte erzeugt und ein extrem glattes und reproduzierbares Plasmaprofil liefert. Der Generator unterstützt auch mehrere Gasarten und -gase und ermöglicht das Ätzen und Aschen mit einer Einheit. Die Ätzkammer ist mit einem vollen Vakuumlastschloss ausgestattet, das ein schnelles und effizientes Be- und Entladen von Proben ermöglicht. Die Kammer bietet auch eine mehrstufige Pumpmaschine für schnelles, gleichmäßiges und stabiles Probenätzen und Aschen. Es verfügt auch über einen Gasmischkrümmer, um einen konsistenten und wiederholbaren Prozess zu gewährleisten. CORIAL 300 iL bietet eine induktive Plasmaätz- und Ascheerfahrung der nächsten Generation, ideal für Halbleiterprozesse, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern. Mit seiner hervorragenden Prozesssteuerung, dem hohen Durchsatz und der effizienten 1bration von Gasen bietet das Werkzeug außergewöhnliche Leistung für alle Ätz- und Ascheanforderungen.
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