Gebraucht CORIAL 300 iL #9272964 zu verkaufen

CORIAL 300 iL ist ein hochmoderner Trockenplasmaätzer/Ascher, ideal für fortschrittliche mikro- und nanoskalige Gerätestrukturen. Es verfügt über eine einzigartige Dualstrahl-Architektur, die das gleichzeitige Ätzen/Kristallisieren von 2 unabhängigen Substraten ermöglicht. 300 iL ist das perfekte Werkzeug für die Strukturierung mit hohem Seitenverhältnis in Halbleitern, Dielektrika, Resists, Oxidschichten und Solarzellen. Seine einzigartige Doppelstrahlarchitektur besteht aus zwei Quellkammern, von denen jede isoliert ist, aber mit derselben Vakuumkammer verbunden ist. Jede Quellkammer hat ein anderes Quellgas - eine zum Ätzen und eine zum Kristallisieren, je nach vorliegendem Verfahren. Die beiden Gasquellen werden durch ein Paar mehrstufiger Hochvakuumpumpen gepumpt, was einen ultrahohen Vakuumdruck (UHV) erzeugt und eine hohe Prozesswiederholbarkeit gewährleistet. CORIAL 300 iL verwendet einen RF (Radio Frequency) Generator, um die Anregungsenergie für die Ionisation des Strahls zu liefern. Dieser HF-Generator ist sehr stabil und kann je nach Prozessanforderungen für den Betrieb mit hoher Leistung (2 kW) oder niedrigerer Leistung (400 W) eingerichtet werden. 300 iL bietet einen breiten Einsatzbereich für die Quellgaszusammensetzung und kann mit jeder Art von Prozessgas verwendet werden. CORIAL 300 iL ist mit einer fortschrittlichen Ausrüstung der anspruchsvollen Steuerelektronik ausgestattet, die eine präzise Einstellung der Ätzzeit, Wiederholbarkeit und Präzision in der Ätztiefe und -größe ermöglicht. Die Temperatur sowohl der Substrat- als auch der Sourcestationen kann auf ein geeignetes Niveau eingestellt werden, um eine präzise Temperaturregelung über die gesamte Gerätestruktur zu gewährleisten. Damit eignen sich 300 iL gut für Prozesse wie Ultradünnschichtabscheidung, Materialwachstum und Diffusionsprozesse. Darüber hinaus verfügt CORIAL 300 iL über ein integriertes Sicherheitssystem, das die Sicherheit von Bediener und Einheit gewährleistet. Im Notfall wird die Maschine automatisch abgeschaltet und das restliche Material in der Vakuumkammer sicher evakuiert, bevor das Werkzeug wieder gestartet werden kann. 300 iL ist eine optimale Wahl für fortgeschrittene Ätz-/Strukturanwendungen und eignet sich für alle Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsprozesse. Dieses leistungsstarke Gerät wurde entwickelt, um hochpräzises Ätzen und Kristallisieren mit hervorragender Wiederholbarkeit und Stabilität zu ermöglichen und ist sicher, eine wertvolle Ergänzung zu jeder Reinraumeinrichtung zu sein.