Gebraucht CORIAL 300 iL #9272971 zu verkaufen

CORIAL 300 iL ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheeinheit, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Die Plattform bietet kurze Ätz- und Aschezyklen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit, was zu einer hochwertigen Oberflächengüte führt. CORIAL 300 ist für eine breite Palette von Ätz- und Aschebedürfnissen konzipiert, von einkristallinen Wafern bis zum Aschen von Mehrstandort-Photoresist-Beschichtung. Eine Vielzahl von Prozessen kann auf CORIAL 300 durchgeführt werden, einschließlich chlorbasiertes Ätzen, Siliziumätzen und Ionenmahlen. Die Plattform CORIAL 300 bietet zudem eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit. Das Ätz- und Aschewerkzeug ist mit ausgeklügelten Kühlsystemen ausgestattet, die die Bearbeitungstemperatur auch bei veränderten Ätzbedingungen im Zaum halten. Auf diese Weise können Betreiber die gleiche Anzahl von Standorten unter verschiedenen Bedingungen beibehalten. CORIAL 300 verfügt auch über umfassende Aschefunktionen und ein integriertes Feature, das Kreuzkontaminationen zwischen Wafern verhindert. 300 iL hat eine Standardkammergröße von 600 x 600 Millimetern und eine Toleranz von 1 Mikron beim Auslegen der Hauptkammer. Der automatisierte vierstufige Prozess umfasst Vorreinigung, Ätzschritt, Nachätzreinigung und Nachätzreinigung. Der Prozess wird durch eine Reihe von programmierbaren Logikcontrollern gesteuert, die so programmiert werden können, dass sie den Ablauf perfekt ausführen. CORIAL 300 wird bequem mit einem dreiphasigen Wechselstromeingang betrieben, und der Stromverbrauch ist bei weniger als 0,5 kW minimal. Die Betriebstemperatur von CORIAL 300 liegt zwischen 15 ° C und 40 ° C und die relative Luftfeuchtigkeit zwischen 10-90%. CORIAL 300 bietet auch geräuscharmen Betrieb, mit einem Schalldruckpegel von nur 62 dBA in einem Abstand von 1 Meter. Um den Betrieb von CORIAL 300 in Spitzenzustand zu halten, sollten die Bediener bei Bedarf Wartungsarbeiten durchführen. Um CORIAL 300 auf dem neuesten Stand zu halten, sollte seine Software regelmäßig aktualisiert werden, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Insgesamt ist CORIAL 300 iL eine fortschrittliche Ätz- und Ascheeinheit, die hervorragende Prozesswiederholbarkeit und qualitativ hochwertige Ergebnisse liefert. Das ausgeklügelte Kühlsystem, der automatisierte vierstufige Prozess und der rauscharme Betrieb machen es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterindustrie.