Gebraucht CORIAL D500 #9386289 zu verkaufen

CORIAL D500 ist eine Ätz-/Aschemaschine mit ausgezeichneter Präzision für anspruchsvolle Verarbeitung von High-End-Komponenten. Es ist ein kompaktes und robustes System, das eine hervorragende Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle bietet und auf verschiedenste Prozessanforderungen zugeschnitten werden kann. Das Gerät besteht aus einer hochpräzisen modularen ein- oder zweistufigen Vakuumkammer mit konformer Beschichtung zur Vermeidung von Mikropartikelablagerungen. Die Maschine ist auch mit präzisen Temperatur- und Drucksensoren für die Regelung ausgestattet, die eine effiziente und genaue Überwachung und Steuerung der Prozessbedingungen ermöglichen. D500 Waferätzer ist ein Mehrzweckwerkzeug, das eine Vielzahl von Substraten einschließlich Siliziumscheiben, Siliziumdioxid, Quarz, Aluminium, halbisolierenden Substraten und isolierenden Materialien ätzen kann. Das Verfahren kann auch angepasst werden, um mehrschichtige Strukturen aus dielektrischen Schichten und TSV (Through Silicon Via) -Strukturen zu ätzen. Die Anlage ist mit einem Niederdruck- oder Hochdruckätzprozess konfigurierbar und unterstützt auch die automatisierte Wafer-Handhabung und Substratvorverarbeitung. Die Modellkonstruktion ermöglicht auch eine austauschbare Prozesskammer für Prozesse mit aggressiven Chemien, wie Nassätzen, Tiefätzen mit der Möglichkeit der Verwendung von Chlorgasen oder AJA-Ätzen. Das Gerät verfügt über eine ultrafeine Motion Mapping-Technologie, die einen schnellen und genauen Ätzprozess bietet, der eine erfolgreiche Prozessanpassung zwischen gemusterten Wafern und Schablonenscheiben gewährleistet. CORIAL D500 ist mit fortschrittlicher Maskenausrichtungstechnologie zur präzisen Überlagerung der gemusterten Substratmaterialien mit der Ätzmaske ausgestattet. Dies erleichtert einen genauen und wiederholbaren Ätzprozess auf ein- oder doppelseitigen Substraten. Darüber hinaus verfügt das System über eine prozessinterne Fehlerüberwachungseinheit für erhöhte Ätzgenauigkeit und Reproduzierbarkeit. D500 eignet sich für Forschung und Entwicklung, Kryo- und Trockenätzanwendungen sowie für Kleinserien und Großserien. Mit seinen einzigartigen Eigenschaften bietet die Maschine hohe Präzision und Genauigkeit, Robustheit und exzellente Prozesskontrolle. CORIAL D500 ist die perfekte Wahl für die anspruchsvollen Prozessanforderungen der modernen Halbleiterindustrie.