Gebraucht DIONEX 2000 #9096845 zu verkaufen

DIONEX 2000 ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für das Ultra-Tieftemperaturätzen und Aschen von Metallbauelementen in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Dieses Gerät ist in der Lage, Temperaturen von -180 ° C bis + 1600 ° C zu halten und verfügt über eine Vielzahl von Prozesssteuerungsoptionen wie mehrstufige Temperaturzonen, Gasströme, Druckkontrolle und Gasspülfunktionen. Zu den Hauptkomponenten des Systems gehören eine Vakuumkammer, Pumpe und Wäscher, Prozesselektroden, Heizung und Regler, eine Pumpe-Aus-Prozesssteuerung, ein Kühlgerät und andere Hardwarekomponenten. Das Gerät verfügt ferner über eine rechnergesteuerte Anzeige zur Überwachung der Prozessparameter und eine Datenerfassungsmaschine zur Erfassung von Temperatur, Druck und anderen Werten für jeden Prozeß. Die Vakuumkammer ist mit Gaseingängen, Elektroden und Graphitboot ausgestattet, die eine effiziente Beladung von Substraten und die Prüfung der Probentechnik ermöglichen. Die Prozeßelektroden erleichtern den Ätz- oder Ascheprozess, während die Heizung ein gleichmäßiges Temperaturprofil liefert. Die Kühleinrichtung hält die Temperatur der Kammer konstant. Das Steuerwerkzeug von 2000 ermöglicht eine hohe Präzision bei Temperaturgenauigkeit und Kontrolle. Die mehreren Temperaturzonen bieten ein präzises Steuerprofil über die Kammer, wodurch unterschiedliche Temperaturprofile beliebig programmiert werden können. Der Kammerdruck kann auch fein gesteuert und die Kammer bei Bedarf mit Inertgasen gespült werden. Die Kammer ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich Notstoppsteuerungen und Gasspülmöglichkeiten. Darüber hinaus soll die Anlage die Sicherheitsanforderungen der Internationalen Normungsorganisation und der Europäischen Union erfüllen. DIONEX 2000 ist die ideale Wahl für Anwendungen, bei denen extrem niedrige Temperaturen geätzt und verascht werden müssen. Sein intelligentes Steuermodell gewährleistet eine genaue Temperaturregelung und Druckniveaus und ist damit eine äußerst zuverlässige Ausrüstung für die Halbleiterherstellung. Seine Sicherheitsmerkmale, hohe Leistung und einfache Bedienung machen es zu einer idealen Wahl für alle Arten von Ätz- und Ascheprozessen.