Gebraucht DIONEX PM 11020 #9245096 zu verkaufen

DIONEX PM 11020 ist ein Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in chemischen und Halbleiterherstellungsprozessen konzipiert ist. Es wird bei der Entfernung von unerwünschten belichteten Merkmalen auf Halbleitersubstraten verwendet. Insbesondere ist PM 11020 ein exaktes Ätzwerkzeug, das bei der Verwendung von Ätzlösungen und Wafern wie Zinn, Aluminium, Silizium, Phosphor und anderen Metallen einen überlegenen Ertrag und Durchsatz liefert. DIONEX PM 11020 ist eine Präzisionsätzausrüstung, die aus einer 50 mtorr-fähigen Ätzkammer, einer niedrigen Induktivitätsstromquelle, Standard-Fernkammertürschlössern, Vakuumbussventilen und anderen Ätzungen besteht. Es ist für einfache Installation, Bedienung und Wartung konzipiert. PM 11020 kann schnell installiert werden und verfügt über ein patentiertes integriertes Sicherheitssystem mit Sicherheitsisolationsvorrichtungen und automatischem Kammertürschloss für schnelles und präzises Ätzen. Um Präzision zu gewährleisten, verwendet DIONEX PM 11020 einen einstellbaren Gasdurchsatz, ein Hochleistungs-Deckel-Freigabeventil und einen Schnellwechselgaskopf. Dadurch wird sichergestellt, dass das Aggregat einen präzisen Gasstrom aufweist und der Deckel für einen schnellen Waferwechsel schnell freigegeben werden kann. Darüber hinaus gewährleistet die mehrstufige Kühlfunktion der PM 11020 eine enge Steuerung der Ätzprozesstemperatur und der Sauerstoffkonzentration in der Ätzkammer. Darüber hinaus verfügt die DIONEX PM 11020 über ein unabhängiges Überdruckschutzmerkmal, bei dem die Maschine bei Überdruckproblemen abgeschaltet wird. Dadurch wird sichergestellt, dass das Werkzeug nicht ausfällt, wenn der Druck größer ist als der Nennwert. Eine weitere Sicherheit ist mit dem Verschmutzungsüberwachungsmerkmal gegeben, das verhindert, dass Ätz- und Wafer einer äußeren Kontamination und oxyaktiven Spezies in der Kammer ausgesetzt werden. Darüber hinaus verfügt das Asset über einen tragbaren Controller, der es ermöglicht, das Modell effektiver und flexibel zu betreiben. Dieser Controller verfügt über eine intuitive Human Machine Interface (HMI), die es dem Benutzer ermöglicht, die Betriebsparameter einfach zu überwachen, zu steuern und anzupassen. Es verfügt auch über Fehlererkennung und Alarmdiagnose mit intuitiven LED-Leuchten und Schallwarnungen, die sicherstellen, dass das Gerät korrekt funktioniert und ordnungsgemäß funktioniert. PM 11020 verfügt zudem über ein integriertes Datenerfassungssystem mit SPC-Unterstützung, mit dem Benutzer die Prozessleistung überwachen und Daten für zukünftige Referenzen speichern können. Dieses Modul ermöglicht auch die Speicherung und Analyse der Ätzratenhistorie zur statistischen Prozesssteuerung (SPC). Insgesamt ist DIONEX PM 11020 eine robuste und zuverlässige Ätz-/Aschereinheit mit vielen positiven Eigenschaften. Mit seinen Sicherheitsmerkmalen, dem präzisen Ätz- und Waferaustauschprozess und den schnellen Wartungsanforderungen ermöglicht diese Maschine den Kunden, qualitativ hochwertige Ätzergebnisse zu erzielen und gleichzeitig einen sicheren und effizienten Prozess zu gewährleisten.