Gebraucht DNS / DAINIPPON / SCREEN SPW-813 #9402412 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON/SCREEN SPW-813 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der vom Joint Venture von DNS, SCREEN und DAINIPPON entworfen und hergestellt wurde. Es ist ein kompaktes und zuverlässiges Gerät, das von einem PC-gesteuerten SMIF-Pod-Gerät angetrieben wird. Der Ätzer wird für Prozesse wie Materialabtrag, PECVD und dielektrisches Aschen eingesetzt. DNS SPW-813 ist ein 8-Zoll-Durchmesser 200mm Vertikaler Ätzer und Ascher. Es verfügt über eine optimale Quelle für Werkzeugabstand von 500mm, mit einer einstellbaren Prozesszeit von 0-60 Sekunden. Es ist mit zwei Prozesskammern ausgestattet, die jeweils eine unterschiedliche Funktion haben. Die erste Kammer dient zum reaktiven Ionenätzen (RIE), zum isotropen Ätzen und zur nachgeschalteten Plasmabearbeitung. Die andere Kammer ist für dielektrische Asche, mit der Fähigkeit, entweder eine vollständig Prozess Rezept oder manuelle Steuerung zu handhaben. SCREEN SPW 813 bietet eine Vielzahl von Prozessgasen und Chemikalien und ist in der Lage, hohe Wiederholbarkeit und hohe Erträge zu erzielen. Es ist mit einem Smart Chamber Containment System ausgestattet, das sowohl Batch- als auch Inline-Verarbeitung von Wafern ermöglicht. Die Kombination aus vollautomatischer Bedienung, intuitiver grafischer Benutzeroberfläche, fortschrittlicher Prozesssteuerung und zuverlässiger Bedienung macht es zu einer großen Wahl für die Produktion. Die Kombination aus Zuverlässigkeit und Leistung macht es für die Serienfertigung verschiedener Halbleiterprodukte geeignet. SPW-813 ist einfach zu bedienen und zu warten. Es verfügt über eine freundliche Benutzeroberfläche und einen integrierten Monitor, der Echtzeit-Feedback während Ätz- und Ascherprozessen bietet. Die Überwachungseinheit liefert auch Informationen wie Prozesszeit, Temperaturänderungsrate und Entfernung der Quelle zum Ziel. Es kommt auch mit einer Vielzahl von Operationsdiagnosen, wie Prozessalarme und Warnungen, um hohe Erträge und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. SPW 813 ist ein umweltfreundliches Gerät. Es verfügt über eine Energy Star-Bewertung und verwendet seine SMIF-Pod-Maschine, um den Gesamtstromverbrauch zu reduzieren. Das Gerät ist auch RoHS-konform und produziert keine Gefahrstoffe für die Umwelt. Es besitzt die Fähigkeit, Gase vollständig aus dem Werkzeug zu extrahieren und die Partikelbildung auf ein Minimum zu beschränken. DAINIPPON SPW-813 ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer und Ascher, der den hohen Erwartungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es ist in der Lage, Hochleistungs-Ätz- und Ascheprozesse mit wiederholbaren Ergebnissen und hohen Erträgen zu liefern. Die fortschrittliche Prozesssteuerung und die freundliche Benutzeroberfläche ermöglichen eine gleichbleibend hochwertige Produktion verschiedener Halbleiterprodukte.