Gebraucht DNS / DAINIPPON SPW-612 #9018575 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON SPW-612 ist eine Ätz- und Aschermaschine, die für Präzisionsätz- und Ascheaufgaben verwendet wird. Dieses System ist ideal zum schnellen Aschen und Ätzen von Substraten wie Silizium-Wafern, Gallium-Arsenid-Wafern und anderen Halbleitersubstratmaterialien. Das Gerät umfasst ein 12-Zoll-Wafer-Spannfutter, das zu Hause rotiert, zwei elektromagnetische Aktuatoren, die XYZ-beweglich sind, und eine Prozessgasversorgung. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie mit einem Prozessgas von Argon oder Stickstoff arbeitet, das von einem GFS-1000 Gasversorgungswerkzeug bereitgestellt wird. Das Asset wird von einer Cerberus SH 1000 NXT SPS-basierten Software gesteuert, die zur Programmierung automatisierter Prozesse verwendet wird und es dem Benutzer ermöglicht, mehrere Substrate zu matrixieren. Das Modell ist auch mit einem Nassätzverfahren ausgestattet, das eine verdünnte Flusshydrofluorlösung verwendet, um das Substrat gleichmäßig zu ätzen. Dies ermöglicht ein hochgenaues Ätzen, ohne auf manuelle Prozesse angewiesen zu sein. Das Gerät verwendet auch einen elektrostatischen Lastspannmechanismus, der das Substrat während der Bearbeitung sicher hält. Dadurch wird sichergestellt, dass sich der Wafer bei der Verarbeitung nicht löst. Das System verfügt außerdem über ein Prozessabgasgebläse, das zur Verringerung der Partikelverschmutzung ausgelegt ist. Die Asche- und Ätzsysteme von DNS SPW-612 sind in der Lage, so klein wie eine 1-Mikron-Mustergröße mit überlegener Ätzgleichmäßigkeit zu produzieren. Das Gerät ist sehr zuverlässig und wurde entwickelt, um Abfall zu reduzieren und Zeit für den Bediener zu sparen. Die Maschine ist auch für Durchsätze von bis zu 200 Wafern pro Stunde geeignet und eignet sich für Produktionsmaßstäbe Ätzen und Aschen Aufgaben. Das Tool wurde auch entwickelt, um EMI-Emissionen zu reduzieren. Insgesamt ist DAINIPPON SP-W612 ein hochzuverlässiges, präzisionsgesteuertes Ätz- und Ascher-Asset, das für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Es ist in der Lage, ein hochgenaues, gleichmäßiges Ätzen und Aschen mit einer Präzision zu ermöglichen, die nicht durch manuelle Prozesse erreicht werden kann. Dieses Modell kann Abfall-, Zeit- und EMI-Emissionen im Produktionsprozess reduzieren und ist damit ideal für Ätz- und Ascheaufgaben geeignet.