Gebraucht DNS / DAINIPPON SPW-813A #293642853 zu verkaufen
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DNS/DAINIPPON SPW-813A ist ein fortschrittlicher Ätzer, der in der Lage ist, vergrabene Strukturen, flache Substrate und Geräte komplizierte dreidimensionale Strukturen zu verarbeiten. Diese fortschrittliche Ätztechnologie kann Auflösungen von bis zu 1,8 µm erreichen. DNS- SP-W813-A ist in der Lage, viele Substrate zu ätzen, einschließlich Siliziumsubstrate, Wolfram, Polyimide und Polymere. Es eignet sich auch für Ein- oder Mehrfluganwendungen auf einer Vielzahl von Halbleitersubstraten. Dieser fortgeschrittene Ätzer nutzt das Trockenstreifenverfahren, um eventuell vorhandene Beschichtungen auf dem Substrat exakt abzustreifen. DAINIPPON SPW-813-A ist in der Lage, komplexe dreidimensionale Strukturen zu ätzen, die medizinisch relevant sind. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen, von der Herstellung von Schallsensoren bis zur Erzeugung von Schwingungssensoren. Die minimale Linienbreite und -tiefe hängt von der Art des verwendeten Widerstandes mit einer Standardlinienbreite von 1,9 µm und einer Linientiefe von 0,15 µm ab. DAINIPPON SPW-813A ist mit der neuesten automatischen Be- und Entladeausrüstung ausgestattet und kann bis zu 60 Wafer pro Stunde bearbeiten. Dies bietet hohe Durchsatzätzfähigkeiten und macht es ideal für hohe Serienanforderungen. SP-W813-A verwendet ein speziell entwickeltes Gasfördersystem, um einen gleichmäßigen, gleichmäßigen Fluss von Reaktivgas während der Ätzprozesse zu gewährleisten. Diese Kammer verwendet ein proprietäres Mehrzonen-Flächenheizungsdesign mit einer einzigartigen Heizeinheit mit einstellbaren Temperatur- und Druckniveaus. Der auf der Kammer installierte HEPA-Filter sorgt für die Sauberkeit des gesamten Prozesses. Dieser fortschrittliche Ätzer ist mit einem integrierten Vakuumsystem in sich geschlossen, das Vakuum von bis zu 10-6 Torr (760 Millibar) handhaben kann. Die Prozesskammer ist mit einer vollautomatischen, vierundzwanzigstufigen Zykluszeit ausgestattet, die ein zuverlässiges und wiederholbares Ätzen aller Materialien ermöglicht. SPW-813A ist eine ausgezeichnete Wahl für Ätzanwendungen für die Medizinprodukteindustrie, Unterhaltungselektronik und Halbleiteranwendungen. Der Trockenstreifenätzprozess kombiniert mit hohen Durchsatzätzfähigkeiten bietet eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit, komplexe und kleinste dreidimensionale Strukturen zu schaffen.
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