Gebraucht DNS / DAINIPPON SPW-813A #9256956 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON SPW-813A ist eine Ätz-/Aschereinrichtung, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Dieses Gerät bietet hervorragende Ergebnisse beim Ätzen, anisotropem Ätzen, Plasmaätzen, reaktiven Ionenätzen und plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidung (PECVD). Es ist für den Betrieb mit vier Kammern konzipiert, so dass Benutzer Ätzprozesse schnell und effizient wechseln können. DNS SP-W813-A kommt mit Multi-Gas-Einführungskammern ausgestattet, so dass Benutzer das entsprechende Prozessgas je nach geätztem Material wählen können. Die Kammer ist mit vier Massendurchflussreglern und zwei Heizelementen ausgestattet, so dass Benutzer die Gasdurchflussraten und die Temperatur regulieren können. Darüber hinaus verfügt DAINIPPON SPW-813-A über eine computergesteuerte Pumpe, die präzises Timing und Druck für eine Vielzahl von Ätzprozessen ermöglicht. DNS/DAINIPPON SPW-813-A ist auch ein effizientes anisotropes Ätzsystem mit integriertem Doppelquarz-Resonanzfrequenzregler zur hochpräzisen Steuerung des Ätzprozesses. Diese Einheit ermöglicht auch eine präzise Steuerung der Ätzleistung über eine rechnergesteuerte Stromversorgung. Das einzigartige Design von DAINIPPON SP-W813-A umfasst einen Abstandhalter, der die oberen und unteren Quarzkristallplatten trennt und ein gleichmäßiges Ätzen mit minimaler Erosion ermöglicht. DNS/DAINIPPON SP-W813-A ist auch mit einer Auswahl von fünf verschiedenen Plasmaätzverfahren ausgestattet, so dass es ideal für Gewebe, die sowohl hohe Selektivität und hohen Durchsatz erfordern. Diese Verfahren sind Plasmaätzen mit Ionenimplantation, reines Ionisationstrockenätzen, ionisiertes Gasgemisch Trockenätzen, Naßätzen mit modifiziertem und stabilem Gasgemisch und 15 Volt Plasmaätzen. DAINIPPON SPW-813A verfügt auch über computergesteuerte Phasenätzung, die die Phase des elektromagnetischen Feldes steuert, um die Prozesseffizienz und Gleichmäßigkeit zu erhöhen. Schließlich ist DNS SPW-813-A sehr anpassungsfähig für Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Prozesse. Diese hochmoderne Maschine ist mit einem integrierten HF- und DC-Netzteil ausgestattet, sodass Benutzer schnell zwischen den beiden wechseln und den Abscheideprozess anpassen können. Darüber hinaus ist DNS- SPW-813A mit einer Vielzahl von Gasen kompatibel, was eine genaue Auswahl des Abscheidungsgasverhältnisses und des Drucks ermöglicht. DNS SP-813A ist ein Top-of-the-Line-Ätzer/Ascher-Werkzeug für die Halbleiterherstellung, das in der Lage ist, Präzisionsätzen, anisotropes Ätzen, Plasmaätzen, reaktives Ionenätzen und PECVD-Prozesse. Die einstellbaren Mehrgaseinführungskammern, der integrierte Doppelquarz-Resonanzfrequenzregler und die Auswahl von fünf Plasmaätzprozessen machen ihn zu einem vielseitigen und effizienten Werkzeug zum Ätzen. Darüber hinaus gibt seine computergesteuerte Stromversorgung und Wahl der Abscheidegase dem Benutzer eine große Kontrolle über den Abscheidungsprozess.