Gebraucht DNS TE-401G #293815303 zu verkaufen

DNS TE-401G ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschermaschine, die in der Halbleiterindustrie für präzise Mustertransferprozesse eingesetzt wird. Dieses Werkzeug ist ein entscheidender Bestandteil bei der Herstellung integrierter Schaltungen und anderer mikroelektronischer Bauelemente. TE-401G Modell wird von DNS, einem führenden Anbieter von Prozessanlagen für die Halbleiterherstellung, hergestellt. DNS TE-401G verwendet fortschrittliche Plasmabearbeitungstechnologie, um dünne Filme auf Substraten mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit zu ätzen oder zu aschen. Es ist entworfen, um eine breite Palette von Substraten zu behandeln, einschließlich Siliziumscheiben, Glas, Keramik und andere Materialien, die üblicherweise in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Die Ausrüstung ist mit einer Reihe von Funktionen und Funktionen ausgestattet, die es ideal für Serienumgebungen in hohen Stückzahlen machen. TE-401G ist ein Trockenätzsystem, d.h. es verwendet Plasma, um Material vom Substrat zu entfernen, anstatt naßchemische Prozesse. Trockenätzen bietet mehrere Vorteile gegenüber Nassätzen, einschließlich höherer Ätzraten, besserer Kontrolle über Ätzprofile und reduzierter chemischer Abfall. DNS- TE-401G können eine Vielzahl von Ätzprozessen durchführen, einschließlich isotropes und anisotropes Ätzen, sowie Plasmaveraschungsprozesse zur Photoresistentfernung. TE-401G verfügt über eine hochgradig anpassbare Prozesskammer, die mit verschiedenen Gaszufuhrsystemen, HF-Stromversorgungen und Temperaturregelgeräten konfiguriert werden kann, um verschiedene Ätzprozesse aufzunehmen. Das Gerät ist mit mehreren Gaseinlässen ausgestattet, um verschiedene Prozessgase einzuführen, wie Chemikalien auf Fluorbasis für das Siliziumätzen oder Chemikalien auf Sauerstoffbasis für das Photoresist-Aschen. Die Kombination aus Gasflussregelung, HF-Leistungsmodulation und Temperaturregelung ermöglicht eine präzise Abstimmung von Ätzraten, Selektivität und Seitenwandprofilen. Eines der Hauptmerkmale von DNS TE-401G ist seine fortschrittliche Endpunkterkennungsmaschine, die den Fortschritt des Ätzprozesses in Echtzeit überwacht. Die Endpunktdetektion ist entscheidend, um sicherzustellen, dass die Ätzung in der gewünschten Tiefe stoppt, wodurch ein Überätzen oder Unterätzen des Substrats verhindert wird. TE-401G verwendet optische Emissionsspektroskopie (OES) oder andere Techniken, um Veränderungen im Plasmaemissionsspektrum zu erfassen, die auf den Abschluss des Ätzprozesses hindeuten. DNS TE-401G ist auch mit einem Lastsperrwerkzeug ausgestattet, das das automatisierte Be- und Entladen von Substraten ermöglicht, wodurch Ausfallzeiten zwischen den Ätzdurchgängen minimiert werden. Die Anlage ist für hohen Durchsatz und Zuverlässigkeit ausgelegt und eignet sich somit für 24/7-Produktionsumgebungen. Darüber hinaus verfügt TE-401G über eine fortschrittliche Prozesskontrollsoftware, die Rezept-Management, Datenprotokollierung und Fernüberwachung ermöglicht. Zusammenfassend ist DNS TE-401G ein hochentwickeltes Ätzer/Ascher-Tool, das präzise und zuverlässige Verarbeitungsfunktionen für die Halbleiterherstellung bietet. Die Kombination aus fortschrittlicher Plasmatechnologie, anpassbarer Prozesskammer, Endpunkterkennungsmodell und Automatisierungsfunktionen machen es zu einem vielseitigen Werkzeug für eine breite Palette von Ätzanwendungen. Mit seinen hohen Durchsatz- und Prozesssteuerungsfähigkeiten ist TE-401G ein wesentliches Werkzeug, um hohe Erträge und Qualität bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu erzielen.