Gebraucht DRYTEK 384T #9083713 zu verkaufen

DRYTEK 384T ist ein Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in der anspruchsvollsten Mikroelektronik und Dünnschichtverarbeitung entwickelt wurde. Es ist für reaktive Ionenätz- und plasmaunterstützte Ätz- und Ascheverfahren konzipiert und wird in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt, darunter Halbleiter, Biomedizin, Pharmazie und Kommunikation. 384T hat eine 24 x 24 Zoll (610 x 610 mm) große Kammer mit einer maximalen Wafergröße von 4 Zoll (100 mm) Durchmesser. Die Vakuumkammer ist aus hochwertigem Edelstahl gefertigt und mit einer extrem niedrigen O2/N2 Gassteuerung ausgestattet. Dieses System ermöglicht eine präzise Steuerung von Prozessrezepten über ein Touchscreen-Panel. DRYTEK 384T kann Prozesstemperaturen von Raumtemperatur bis 1000 & deg; C mit Basisdrücken von 0,5 mtorr erreichen. Es hat auch eine regulierbare hohe Frequenzradiofrequenzstromquelle für das Plasmaätzen und ashing. 384T verfügt über eine große Auswahl an Zubehör für die benutzerdefinierte Anwendungseinrichtung. Dazu gehören Verschlusssysteme, Transportsysteme und Reaktionsstufenwagen. Die Transportsysteme bieten eine komplette Wafertransportlösung, einschließlich Probenvorbereitung und Betrieb mit austauschbaren Roboterarmen. Die Reaktionsstufenkarren ermöglichen die Anpassung des Systems mit Thermoelementen, Temperaturreglern und einer Vielzahl anderer Heizelemente. DRYTEK 384T Ätzer/Ascher ist auf Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und verfügt über integrierte Sicherheits- und Diagnosesysteme. Diese Systeme bieten Echtzeit-Prozessüberwachung und Feedback zur Optimierung der Prozessausbeute. Die integrierte Ionenstrahlquelle ermöglicht UV-verbessertes Ätzen und Aschen, um eine hohe Selektivität und geringe Restschäden zu erzielen. Darüber hinaus ist der Wafer-Spinner in der Lage, Geschwindigkeiten von bis zu 50.000 U/min, so dass eine genaue Gleichmäßigkeit und Gleichmäßigkeit Kontrolle. 384T eignet sich für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen, darunter hochdichte Plasmaätzungen, Hochleistungsascherei, Selektivitätsätzungen, reaktive Ionenätzungen (RIE) und Wafer-Resist-Verfahren. Sein robustes Design sowie seine zuverlässigen Steuerungs- und Sauberkeitsmerkmale bieten eine hervorragende Prozessstabilität und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus bietet es langfristige Wirtschaftlichkeit und Wartungsvorteile. DRYTEK 384T ist für die komplexesten Materialbearbeitungsanforderungen konzipiert und somit die ideale Lösung für jede Ätz- oder Ascheanwendung.