Gebraucht DSS Gemini 820 #9156790 zu verkaufen

DSS Gemini 820 ist ein Ätzer/Ascher für Trockenätzanwendungen in der Halbleiterindustrie. Es bietet eine breite Palette von Ätzfähigkeiten und ist somit eine ideale Wahl für Prozessentwicklungs- und Produktionsanwendungen. Gemini 820 verfügt über eine Vielzahl von Prozesskammern, darunter: drei Endpunkt-Reaktionskammern, drei einfallende Beleuchtungskammern, zwei Spaltkammern, zwei Mikrowellen-Endpunkt-Sensoren und zwei Gas-Totvolumina. Es weist außerdem eine Ultraschall-Mischkammer zum gleichmäßigen Ätzen und eine BioSpray-Kammer für Widerstandsbeschichtungen auf. DSS Gemini 820 bietet durch seine Softwaremechanismen eine verbesserte Prozessgenauigkeit und Einheitlichkeit. Es ist entworfen, um schnell und genau das gewünschte Muster zu erreichen. Die Softwaremechanismen ermöglichen auch die Endpunktdetektion von Ätzen mit einer Genauigkeit von ± 7% und einer Genauigkeit von 1,5 Nanosekunden. Darüber hinaus verfügt der DSS Gemini 830 über einen geringen Sauerstoffpegel-Monitor zur Echtzeitüberwachung der Umgebungsbedingungen in der Prozesskammer. Dadurch wird sichergestellt, dass die Ätzqualität erhalten bleibt und eine manuelle Umgebungsüberwachung entfällt. DSS Gemini 830 bietet maximale Prozesssteuerung und Kontrolle von Prozessflüssigkeiten wie Argon, XeF2, CHF3 und CF4. Es verfügt auch über zwei unabhängige Piezoventile zur sorgfältigen Steuerung der Kammerdrücke. Der Prozess kann manuell oder mit voreingestellten Rezeptparametern gestartet werden. Separate Plasmakammerregler ermöglichen eine unabhängige Steuerung jeder Kammer. DSS Gemini 830 enthält eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich automatischer Kammerabschaltung, wenn eine Notsituation erkannt wird. Es verfügt auch über einen modularen Aufbau für einfache Installation und Wartung. Die fortschrittliche PC-Software bietet eine benutzerfreundliche Maschinensteuerung, Konfiguration, Überwachung und Datenprotokollierung. Insgesamt bietet DSS Gemini 830 zahlreiche Vorteile für den Ätzprozess, von verbesserter Genauigkeit und Gleichmäßigkeit bis hin zu verbesserten Prozesskontroll- und Sicherheitsmerkmalen. Es ist eine ideale Wahl für Prozessentwicklungs- und Produktionsanwendungen und bietet umfassende Möglichkeiten zum Trockenätzen.