Gebraucht E&R Plasmax 602A #9217454 zu verkaufen

E&R Plasmax 602A ist ein Ätzer und Ascher, der in der Halbleiterverarbeitungsindustrie zum Abscheiden und Ätzen von Dünnschichtmaterialien verwendet wird. Dieses industrielle Werkzeug verwendet eine koaxiale Plasmaquelle, um qualitativ hochwertige, wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Das Gerät verfügt über eine Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Technologie basiert, induktiv gekoppelte, koaxiale Doppelwellenleiter-Plasmaquelle, die Flexibilität bei der Steuerung der Leistungsanforderungen an die Produktanforderungen bietet. Darüber hinaus verursachen die ECR-Abschirmungen minimale elektrische Interferenzen mit benachbarten Werkzeugen und zeichnen sich durch eine hervorragende Temperaturregelung und Effizienz aus, die zuverlässige Prozessergebnisse ermöglicht. Das ECR-basierte System ermöglicht eine plasmaunterstützte Desmearfunktion zur Entfernung von Resist-Rückständen von der Oberfläche des Substrats. Das Werkzeug ist auch „Cr-Blocker Plate“ -Design, das Cr-haltige Partikelfreisetzung in der Prozesskammer verhindert, so dass keine zusätzliche Umweltverschmutzung auftritt. Mit diesem Werkzeug kann auch eine chemische Oxidentfernung erreicht werden und je nach zu entfernendem Oxidtyp werden verschiedene Chemikalien eingesetzt. Zur Steuerung der Ätzrate ist Plasmax 602A mit einer Kombination aus HF-Frequenzabtastung und axialen Vorspannmagnetron-Technologien ausgestattet, um eine breite Palette präziser Leistungsstufen zum Ätzen verschiedener Materialien zu erzeugen. Darüber hinaus sorgen integrierte Regelkreise für Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Prozesses. Das Gerät ist in der Lage, 200mm-Wafer mit der Fähigkeit, die Verarbeitung auf 300mm-Wafer in der Zukunft zu erweitern. Dieses Werkzeug verfügt auch über eine Prozess-Gas-Fördermaschine mit Dual-Fan-Blasen und thermische asymmetrische Duschsteuerung, die eine gleichmäßige Gasströmung, sowie zuverlässige Gasdruck und Temperaturstabilität, die gleichmäßigere Ätzprozesse ermöglicht. E&R Plasmax 602A eignet sich für verschiedene Oxidätz- und Desmear-Verfahren für hochpräzise Produkte mit hoher Ausbeute. Dieses Werkzeug ist bekannt für seine Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Kosteneffizienz, die zur Maximierung der Produktionsausbeuten in der Halbleiterverarbeitungsindustrie beitragen.