Gebraucht ESC ELAS #9156747 zu verkaufen

Hersteller
ESC
Modell
ELAS
ID: 9156747
Wafergröße: 4"-8"
PVD System, 4"-8" Sputter down cassette to cassette Standard BROOKS Robot system CTI Cryo pump main chamber, 10" CTI Cryo load lock, 8" Turbo pump / Rotary pump ADVANCED ENERGY Pinnacle DC MAGNETRON Power supply ADVANCED ENERGY RFPP RF20S Power supply Techware II Ultra (3) Targets plus RF etch station: 20.25" x 4.75" Dual level load lock Bulkhead mounting maximum substrate size (Through-wall): Large area substrates: Up to 16" x 16" MRC 943 PVD System Batch size: (4) Wafers, 8" (6) Wafers, 6".
ESC ELAS (kurz für Electrostatic-Lithographic-Asher) ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die von der Esterline Corporation entwickelt wurde. ELAS ist darauf ausgelegt, zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse sowohl für Prototypen als auch für Serienanwendungen zu liefern. ESC ELAS ist eine modulare Ätz- und Aschemaschine, bestehend aus drei angeschlossenen Einheiten: dem iMix, iControl und dem iX-max. Der iMix liefert die notwendige Chemie zum Ätzen und Aschen, während der iControl ein Controller für die Ätz- und Ascheprozesse ist, der eine genaue Kontrolle des Prozesses und die Datenerfassung ermöglicht. Der iX-max ist ein hochpräzises x-Achsen-Bewegungssteuerungssystem, das den Ätzprozess automatisiert. ELAS arbeitet mit elektrostatischer Lithographie. Bei dieser Art der Lithographie wird eine Ätzlösung verwendet, die bei Belichtung mit einem zuvor gemusterten Substrat unnötiges Material entfernt, wobei nur das gewünschte Merkmal auf die Oberfläche geätzt bleibt. Das Ergebnis ist eine höhere Präzisionsätzung als bei herkömmlichen Naßätzverfahren. ESC ELAS ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien, einschließlich Kupfer und anderen Metallen, sowie Dielektrika und Halbleiter zu ätzen und zu aschen. ELAS bietet eine hervorragende Auflösung und Strukturierung für Micron-Level-Features, je nach verwendetem Substrat und Chemie. Es ist auch eine hochflexible Maschine, die eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen ermöglicht, die auf genaue Anwenderanforderungen zugeschnitten werden können. ESC ELAS-Einheit enthält eine integrierte Messtechnik-Maschine, die sowohl inspiziert und überwacht das Substrat vor, während und nach dem Ätzen und Aschen. Das integrierte Messtechnik-Modul ermöglicht wiederholte schnelle Scans des Wafers zur berührungslosen und zerstörungsfreien Messung. Darüber hinaus ist ELAS benutzerfreundlich konzipiert, so dass der Bediener Prozesseinstellungen von einem Touchscreen oder Remote-Computer mit einer intuitiven grafischen Oberfläche manipulieren kann. Insgesamt ist ESC ELAS eine zuverlässige und effektive Ätz-/Aschemaschine, die hochgenaue und präzise Ergebnisse liefert. Es ist eine vielseitige Maschine mit fortschrittlichen Technologien und integrierter Messtechnik, ideal für Prototypen und Serienanwendungen.
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