Gebraucht EUROPLASMA CD1000 Nanofics #9311808 zu verkaufen

EUROPLASMA CD1000 Nanofics ist ein trockenes Ätz- und Aschesystem, das speziell für Halbleitermikromaschinen entwickelt wurde. Es kombiniert hochpräzise Luft- und reaktive Gasplasmabearbeitung in einer Einheit, um ein ultradünnes, gleichmäßiges Ätzprofil mit enger Merkmalskontrolle zu erreichen. CD1000 Nanofics ist mit einem Dual-Level-Massenstromregler ausgestattet, der eine genaue, automatisierte Ätz- und Aschegeschwindigkeit und Druckeinstellung ermöglicht. Dies sorgt für eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit und ein präziseres Ätz-/Ascheprofil. Es ist auch mit einem Niederdruck-HF-Stromgenerator ausgestattet, der es dem System ermöglicht, bei niedrigeren Drücken höhere Plasmadichten und Ionenenergien zu erreichen. Dies gibt ihm die Möglichkeit, Materialien bei sehr niedrigen Temperaturen zu ätzen, um thermische Schäden zu minimieren und ein gleichmäßigeres Ätzergebnis zu erzielen. EUROPLASMA CD1000 Nanofics ist eine Open-Source-Plattform, mit der Benutzer ihre eigenen Plasmaprozesse anpassen und programmieren können. Es ist für eine Vielzahl von Materialien konzipiert, darunter Si, SiO2, SiN, SiC, GaN und organische Dielektrika. Es kann bis zu einer Dicke von 10nm oder darunter geätzt oder Asche, mit Merkmalsgrößen so klein wie 50nm. Es ist sowohl bei atmosphärischen als auch bei reduzierten Drücken ätz- und aschefähig und kann Temperaturen bis -60 ° C erreichen. Es verfügt auch über einen automatisierten in-situ Substrathalter für Sub-100nm Feature-Ätzen. Der Halter reduziert die Mikrobelastung und ermöglicht wiederholbare und genauere Funktionen. Insgesamt ist CD1000 Nanofics ein fortschrittliches Ätz- und Aschesystem, das für eine schnelle und präzise Mikrobearbeitung verschiedener Materialien entwickelt wurde. Seine Kombination aus niedriger Temperatur, Niederdruck-Plasma-Technologie, niedrigen thermischen Schäden und Wiederholbarkeit hat Halbleiterätzen und Aschen Anwendungen revolutioniert.