Gebraucht EUROPLASMA CD300 PLC #9409746 zu verkaufen

EUROPLASMA CD300 PLC ist eine Plasmaätz-/Aschemaschine, die für fortgeschrittene Plasmabehandlungsanwendungen in der Halbleiter-, Optoelektronik-, MEM- und Solarzellenindustrie entwickelt wurde. Dieses System verfügt über eine intuitive Touchscreen-Schnittstelle zur Optimierung der Prozessparameter, verbesserte Sicherheitsfunktionen und eine patentierte Einzelsteckplatz-Einheit zum automatischen Be- und Entladen verschiedener Arten von Substraten. CD300 SPS verfügt über eine große Plasmakammer (915 mm x 690 mm x 795 mm) mit zwei Seitenanschlüssen, die für den Probentransport und die Fernüberwachung des Plasmas verwendet werden können. EUROPLASMA CD300 PLC ist eine Hochleistungs-, Hochfrequenz- (RF) angetriebene Plasmaätz-/Aschemaschine, die Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm verarbeiten kann. Dieses Werkzeug verwendet hocheffiziente, niedertemperaturchemische Reaktionen, die ein präzises und wiederholbares chemisches Ätzen und Aschen ermöglichen. Der Prozessdruck und die HF-Leistung sind dynamisch einstellbar und können auf spezifische Anwendungen abgestimmt werden. CD300 SPS verfügt auch über eine automatisierte Qualitätskontrolle, die jeden Plasmabehandlungsprozess überwacht. Die Prozessparameter einschließlich Substrattemperatur, Prozesszeit, Plasmadichte und chemische Zusammensetzung können in Echtzeit überwacht und in einer Logdatei auf zukünftige Referenz überwacht werden. Das Modell enthält auch einen proprietären Automated Sample Loader, der in eine Robotertransportausrüstung integriert werden kann, um die vollständige Automatisierung des Prozesses zu erleichtern. Der Ätz-/Aschevorgang wird in einer vollständig abgedichteten Umgebung durchgeführt und alle Prozessgase werden überwacht und in optimalen Konzentrationen gehalten. Neben dem hocheffizienten Plasmaätzen und Aschen kann EUROPLASMA CD300 PLC für Plasmaoberflächenreinigungs-, Passivierungs- und Abscheidungsprozesse eingesetzt werden. Die Sicherheitsmerkmale umfassen eine vollständige Zonenverriegelung mit Blitzschutz und Abschirmung zum Schutz vor Prozesskontamination und personellen Gefahren. Darüber hinaus ist das System mit einer hocheffizienten Restgasanalyseeinheit und einer Prozessüberwachungsmaschine ausgestattet, die die Ermittlung von Prozessschwankungen ermöglicht. Insgesamt ist CD300 SPS ein leistungsfähiges Plasmaätz-/Aschewerkzeug, das Präzisionssteuerung und Reproduzierbarkeit für fortschrittliche Plasmabehandlungsprozesse bietet. Die große Kammergröße, automatisierte Probenbeladung, Sicherheitsfunktionen und Fernüberwachung machen es zu einer idealen Wahl für verschiedene Plasmabehandlungen.