Gebraucht EUROPLASMA CD400 #9105430 zu verkaufen

EUROPLASMA CD400 ist ein A-Serie Plasma Etcher/Asher ideal für den Einsatz in einem breiten Spektrum von Prozessanwendungen. Mit seinen niedrigen Kosten und seinem hohen Durchsatz ist CD400 eine ausgezeichnete Wahl für Labore, universitäre Forschungs- und Entwicklungszentren, Halbleiter- und MEMS-Hersteller, die die ultimative Leistung und Präzision suchen. EUROPLASMA CD400 verwendet eine fortschrittliche Kupplungs-/Kühlmittelausrüstung, um Verunreinigungen unter Vakuum von der Probenoberfläche zu entfernen. Dieses System verwendet eine patentierte, keramikähnliche Plasma-Reflexionsmembran, um zu verhindern, dass Partikel in die Reaktionskammer gelangen. Das Verfahren wird über einen weiten Temperaturbereich angewendet und gewährleistet eine gleichmäßige Verarbeitung und präzise Ergebnisse. Die Reaktionskammer von CD400 ist mit temperaturunabhängigen E-Gun-Arrays ausgestattet, die das Submikronschicht-für-Schicht-Ätzen und Aschen von Metallen, Oxiden, Nitriden und Polymeren ermöglichen. Die E-Gun-Arrays bieten eine einstellbare Verweilzeit und ermöglichen die Optimierung von Ätzprozessen, um spezifische Leistungsanforderungen zu erfüllen. Die einstellbare Verweilzeit ermöglicht es dem Anwender auch, verschiedene Prozessrezepte für verschiedene Materialien auszuwählen, was den Prozess-Optimierungsprozess vereinfacht. EUROPLASMA CD400 ist in der Lage, Funktionen mit Größen bis zu 0,1 µm zu liefern, abhängig von den Ätzparametern. Submikron-Merkmale werden durch den Unterschied in Ätz- und Aschegeschwindigkeiten verschiedener Materialien erreicht. CD400 bietet auch einen hohen Durchsatz, da die Ätzzeit verkürzt werden kann. Darüber hinaus ist EUROPLASMA CD400 in der Lage, eine breite Palette von Prozessparametern zu liefern, so dass Anwender ihre Prozesse für die beste Leistung optimieren können. CD400 ist auch eine der energieeffizientesten Einheiten seiner Klasse, da die beheizten Substratbecher auf Energieumwandlung ausgelegt sind. Die Einheit weist außerdem eine aktive Strömungsstabilisierung auf, die eine stabile Prozessgasversorgung ohne Drucksteuerung ermöglicht. Dies reduziert den Energieverbrauch und sorgt für eine hohe Reproduzierbarkeit. Um die Sicherheit zu erhöhen, enthält EUROPLASMA CD400 einen Sicherheitsmonitor, der ausfallsichere Grenzwertsensoren verwendet und automatisch abschaltet. Der Sicherheitsmonitor überwacht kontinuierlich die Prozessparameter und sorgt für Sicherheit und die Einhaltung lokaler Vorschriften. CD400 ist eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessanwendungen. Seine Kombination aus fortschrittlicher Technologie, benutzerfreundlichen Funktionen und leistungsstarken Fähigkeiten machen es zu einer idealen Maschine für jedes Forschungs- und Entwicklungslabor oder jede Produktionslinie.