Gebraucht GASONICS Aura 1000 #293690392 zu verkaufen

GASONICS Aura 1000 ist ein anspruchsvoller Ätzer und Ascher für die anspruchsvollsten Prozesse mit Funktionen von 100mm Waferbearbeitung bis 400mm Waferbearbeitung. Dieser anspruchsvolle Ätzer und Ascher ermöglicht Hochleistungs-Plasmaätz- und Ascheprozessergebnisse bei minimalem Probenschaden. Dieses System verfügt über zwei Quellkammern, so dass Benutzer das Werkzeug mit bis zu drei Kammern und einer optionalen Aschekammer konfigurieren können. Jede Quellkammer beherbergt zwei getrennte und unabhängige Gasquellen mit einer Vielzahl von Optionen, um den genauen Prozessbedarf zu erreichen. Das System wird durch den intuitiven WIN TESS Software dedizierten Controller gesteuert, um eine präzise Prozesssteuerung zu gewährleisten. Die zuverlässige und präzise Temperaturregelung für Substratvorspannung und Stufentemperatur wird jederzeit aufrechterhalten und liefert konsistente und wiederholbare Ergebnisse. Das System bietet eine erweiterte Prozesssteuerungsfähigkeit, da die Ätzvorspannung, der Vakuumspiegel, der Durchfluss, der Mantelfluss und der Druck durch die genaue Kalibrierung der Bordgasquellen kontrollierbar sind. Aura 1000 enthält auch eine optionale Kammer mit einer retainable Membrane Unit (RMA), die die Gleichmäßigkeit des Wafers in den Ätz- und Ascheprozessen verbessert. Die patentierte RMA-Technologie liefert in bestimmten Anwendungen deutlich höhere Erträge. GASONICS Aura 1000 wurde entwickelt, um Fehlertoleranz bereitzustellen, indem nützliche Prozessparameter in Echtzeit wie Gasdruck, Durchfluss, Temperatur und Vakuumniveau überwacht und angezeigt werden. So können Anwender den Ertrag steigern und eine gleichbleibende Leistung bei minimalem Schadensrisiko erzielen. Das intuitive Bedienfenster der Maschine bietet auf einen Blick Informationen, die zur Identifizierung, zum Verständnis und zur Lösung von Problemen benötigt werden. Aura 1000 wurde entwickelt, um Zykluszeiten zu reduzieren und gleichzeitig überlegene Gleichmäßigkeit und Ätzleistung zu bieten. Mit GASONICS konkurrenzloser Unterstützung und weltweit führenden Plasmaätz- und -veraschungsprozessen ist den Anwendern stets eine schnelle Trendwende garantiert.