Gebraucht GASONICS Aura 1000 #293746361 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist eine vielseitige Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die den Anforderungen moderner Halbleiterherstellung gerecht wird. Es verfügt über eine 10 x 25 cm Prozesszone und eine maximale Belastung von bis zu 15Kg. Es verwendet hochpräzise widerstandsfähige und galvanische elektrolytische Ätz- und Ascheprozesse, die mit nassen, trockenen, austauschbaren und berührungslosen Resistoperationen kompatibel sind. Das System wird von einer hochzuverlässigen, leistungsstarken Gleichstromversorgung gespeist und ist in der Lage, bis zu 500V und bis zu 10A für leistungsstarke Ätz-/Aschevorgänge zu erzeugen. Um maximale Präzision zu gewährleisten, sind der Controller und die Stromversorgung beide mit Echtzeit-Regeltemperatur und Spannungsregelung ausgestattet, um präzise Parameter zu gewährleisten. Die Einheit verfügt auch über eine Vielzahl von Prozessroutenfähigkeiten, einschließlich großflächiges einheitliches Ätzen/Aschen, vordefinierte Resistreinigung, zufälliges Flächenätzen/Aschen, hochdichtes Musterätzen/Aschen sowie elektrochemische Abscheidung und Strippen. Es bietet zudem einen prozessorientierten Zugang von bis zu 32 Rezepten und bis zu 256 Schritten in jedem Rezept. Die Maschine verfügt auch über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, wie ein automatisiertes Wafer-Handling-Tool mit effizienter Mapping-Unterstützung und komfortabler Benutzerprogrammierung, eine robuste Verriegelung und Sicherheitsbestandteil, um Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, erweiterte Diagnose- und Datenerfassungsfunktionen sowie erweiterte Überwachung und Steuerung von Ätzprozessen. GASONICS Aura 1000 ist ein robustes Ätz-/Aschermodell, das für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist und für seine hohe Genauigkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit bekannt ist. Es bietet eine einfach zu bedienende Ausrüstung, die für eine Vielzahl von Produktionsumgebungen geeignet ist und leicht auf eine Vielzahl von Anforderungen zugeschnitten werden kann.