Gebraucht GASONICS Aura 1000 #293764333 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS A 1000 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der hauptsächlich in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es ist ein voll ausgestatteter Ätzer/Ascher, der sowohl Front-End-Prozessfähigkeiten als auch nach der Verarbeitung Reverse-Angle-Reinigungstechnologien umfasst. GASONICS A 1000 verfügt über eine fortschrittliche 10-Zonen-Plasmaquelle, die eine gleichmäßige Overspray-Entfernung ermöglicht, die Partikelverschmutzung minimiert und die Prozessreproduzierbarkeit verbessert. Die fortschrittlichen Photomasken der Maschine ermöglichen die fehlerfreie Verarbeitung einer Vielzahl von Photomasken, einschließlich BEOL und BEOL/Back-End (ULE und BAL) Photomasken. Der Ätzer kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200mm und Wafergrößen von 200mm bis 6 Zoll verarbeiten. Sein einzigartiges Ätzfenster kann nach individuellen Parametern programmiert und optimiert werden, ohne die Leistung der Maschine zu beeinträchtigen. NOVELLUS A1000 kann verschiedene Dielektrika und Halbleitermaterialien verarbeiten, und seine interne Gate-Level-Clean-Technologie sorgt für schmutzarme Prozessergebnisse. Die fortschrittliche Abgasanlage sorgt zudem für eine effektive & langfristige Luftfiltration und verhindert gleichzeitig Kratzer. Zur Verwaltung des Ätzprofils verfügt die Maschine über eine Scan-Select-Technologie, mit der verschiedene Wafer und Substrate für die Prüfung profiliert werden können. Es bietet auch 3D-Oberflächenmuster für eine genauere Kontrolle über das Profil der geätzten KEs. Darüber hinaus verfügt es über ein Temperaturregelsystem, das das temperaturgesteuerte Ätzen des Substratmaterials ermöglicht, sowie eine saubere Diagnoseeinheit zur Überwachung der Waferform und des Waferprofils, die eine Echtzeit-Prozesssteuerung ermöglicht. Insgesamt ist A 1000 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der die höchsten industriellen Anforderungen erfüllt. Seine vielen Funktionen, von seinen fortschrittlichen Prozessfähigkeiten bis zu seiner hochrangigen sauberen Diagnosemaschine, machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für jede Ätz- oder Veraschungsanwendung.