Gebraucht GASONICS Aura 1000 #293811532 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist eine Klasse von Ätzern/Aschen, die in der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen (IC) verwendet werden. Dieses Etcher/Asher-System wurde entwickelt, um Präzisionsplasmaätzen und chemische Dampfabscheidung (CVD) -Verarbeitung durchzuführen. Es hat eine ausgezeichnete Genauigkeit zum Ätzen und Abscheiden von Materialien auf großen und kleinen Wafern. Die Einheit verfügt über zwei unabhängige Quellkammern und eine Lastsperrkammer zur Handhabung verschiedener Materialabscheidungen. Es verfügt über eine hochpräzise XYZ-Stufe, um genaue lineare und Winkelbewegungen für Ätz- und CVD-Prozess bereitzustellen. Es verfügt auch über einen zusätzlichen Rotary-Antrieb, der Wafer um bis zu 300 Grad drehen kann, um eine einfache und präzise Ausrichtung zu gewährleisten. Der Plasma Etcher/Ascher verfügt über eine reaktive Ionenätzkammer (RIE) mit einem Vakuumbereich von 0,005-25 Torr und einem Druckbereich von 5-1000 mTorr. Es verfügt über eine leistungsstarke HF-Stromquelle zur Unterstützung des hochdichten Plasmaätzens mit einem Leistungsbereich von bis zu 75 kW. Die Abscheiderate ist einstellbar, im Bereich von 0,001-1,8 μ m pro Minute. GASONICS Aura 1000 verfügt über fortschrittliche Plasmakontrollfunktionen wie fortschrittliche Plasmaformung, Schrittätz- und Schlitzätztechnologie. Es hat auch erweiterte Wafer Handhabung und Sicherheitsfunktionen, wie ein Alarmmechanismus, um die Maschine zu warnen, wenn die Wafer nicht richtig gesichert sind und HF-Sensing, um das Risiko von Lichtbogen und Feuer zu reduzieren. NOVELLUS Aura 1000 Etcher/Asher ist ein äußerst zuverlässiges Werkzeug für die IC-Fertigung, da es eine hohe Genauigkeit, Flexibilität und Wiederholbarkeit bietet. Das Asset kann über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) gesteuert werden, so dass der Bediener die Prozessparameter intuitiv steuern und den Fortschritt in Echtzeit überwachen kann. Dieses Modell ist kompatibel mit verschiedenen fortschrittlichen Technologien, wie Speicher- und Logikgeräten, MEMs und Displays.