Gebraucht GASONICS Aura 1000 #293827649 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein Ätzer/Ascher, der häufig in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Es handelt sich um ein Mehrkammersystem mit einer großen Hauptätzkammer, einer Lastschloßkammer und einer sauberen Kammer. Es enthält eine ultraviolette Lichtquelle und verwendet eine proprietäre Ionenstrahlätztechnik, um präzise Ätzergebnisse zu liefern. Es verfügt über ein hohes Seitenverhältnis tiefe Ätzfähigkeit, mit einem engen Abstand von Fehler und Genauigkeit von +/-15nm. Es kann verwendet werden, um tief Ätzfunktionen bis zu 2um Breite und 2um Tiefe. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Silizium, Aluminium, Kupfer und Wolfram. Der iterative Scan-Mechanismus ermöglicht ein hohes Durchsatzätzen von Wafern. Es ist in der Lage, größere Wafer mit einem einzigen Durchlauf in etwa 3 Minuten zu scannen, was die Zeit und die Kosten der Operationen reduziert. Es ist auch mit einem doppelten Wafer Shuttle-Waggon ausgestattet, wodurch Wafer-Ein- und Ausgangsfunktionen erhöht werden können. Eine erweiterte Benutzeroberfläche hilft Benutzern, Parameter wie Druck, Spannung und Strom für optimale Ätzergebnisse anzupassen. Die GASONICS Aura 1000 ist für ihre präzisen Ätzverfahren und ihre ausgezeichnete Wiederholbarkeit bekannt. Mit seiner hohen Genauigkeit eignet sich NOVELLUS Aura 1000 ideal für den hochpräzisen Mustertransfer, das Stapeln von Werkzeugen und andere Arten komplexer Ätzanwendungen. Es ist weit verbreitet in Halbleiter-, Solar-, Automobil- und Unterhaltungselektronik-Anwendungen. Aura 1000 verfügt über zahlreiche erweiterte Funktionen, um qualitativ hochwertige Ätzergebnisse sicherzustellen. Diese Merkmale umfassen Kalibrierung und Steuerung, Hochspannungsüberspannungsschutz, Schutzschilde, präzise Temperatur- und Druckregelung und automatische Waferausrichtung. Abschließend ist GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher mit Präzision und Zuverlässigkeit im Auge. Es ist bekannt für seine hohe Seitenverhältnis tiefe Ätzfähigkeit, hohe Durchsatz Scan-Mechanismus, und zahlreiche erweiterte Funktionen. GASONICS Aura 1000 ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, das in verschiedenen Anwendungen eingesetzt werden kann.