Gebraucht GASONICS Aura 1000 #293827650 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS A 1000 ist ein Halbleiterascher/Ätzer für fortgeschrittene Plasmaätz- und Abscheidungsprozesse. Es verfügt über eine große Prozesskammer, die über 50 Wafer in einer Standard-8-Zoll-300mm-Waferkassette aufnehmen kann. Die Kammer wird unter Druck gesetzt, was ein optimales Gasmanagement und reduzierte Prozessverunreinigungen ermöglicht. Die Maschine ist auch mit einem Roboter ausgestattet, der komplexe Prozesse bewältigen kann und eine mehrachsige Bewegung mit hoher Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit bietet. GASONICS A 1000 wird mit modernster Mikroprozessor- und Steuerlogik betrieben und führt komplexe Prozesse präzise aus. Digitale Daten, die den Prozess steuern, werden in einer gängigen GASONICS Plasmasprache (GPL) geschrieben, die auf jeden Prozess zugeschnitten ist. NOVELLUS A1000 verfügt auch über NOVELLUS SPC- 1000™ Software, die eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur Überwachung und Steuerung des Prozesses bietet. Die SPC- 1000™ ermöglicht es dem Bediener, Parameter während des laufenden Prozesses in Echtzeit zu überwachen, zu steuern und anzupassen sowie Rezepte, Daten und Ergebnisse zu speichern. Das Basismodell GASONICS/NOVELLUS A1000 verfügt über eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle und eine diodenerfassende Elektronenstrahlquelle, die eine schnelle Puls- und Hochleistungsabscheidung mit ausgeklügelter Gleichmäßigkeitskontrolle und überlegener Materialqualität ermöglicht. Pwner wählbare Prozessgase, einschließlich Formen von Sauerstoff und Stickstoff, ermöglichen eine Reinigung, Oxidation, Abscheidung und Ätzung von Materialien. Die Maschine umfasst auch ein Turbopumpensystem bestehend aus einer zweistufigen Rotationssiebpumpe und einer wartungsarmen Turbopumpe. Neben Standard-Ätz- und Abscheidefunktionen bietet A 1000 auch Optionen für Vorätzreinigungs-, Nachätzreinigungs-, Passivierungs- und Strippprozesse. Durch die Kombination von Ätz- und Abscheideprozessen in einem einzigen Werkzeug bietet GASONICS A1000 einen effizienten und zuverlässigen Ansatz für die Geräteherstellungstechnik. Mit seiner ausgeklügelten Prozesssteuerung und vielen leistungsstarken Funktionen kann NOVELLUS A 1000 hervorragende Ergebnisse und ein hohes Maß an Kontrolle liefern.