Gebraucht GASONICS Aura 1000 #9105746 zu verkaufen

Hersteller
GASONICS
Modell
Aura 1000
ID: 9105746
Wafergröße: 4"-6"
Plasma ashers, 4" - 6" Option available: Dry pumps 208 V, 50 Hz, 20 A, 3Ph.
GASONICS Aura 1000 ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschermaschine, die für die präzise und effiziente Verarbeitung verschiedener Materialien in der Halbleiterherstellung und anderen Hightech-Industrien entwickelt wurde. Dieses Gerät ist bekannt für seine überlegene Leistung, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit und ist somit ein wesentliches Werkzeug für Forschung und Entwicklung sowie für Produktionsumgebungen. Aura 1000 verfügt über eine hochmoderne Plasmabearbeitungstechnologie, die es ermöglicht, eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessen mit außergewöhnlicher Präzision und Wiederholbarkeit durchzuführen. Das System nutzt eine Kombination aus Plasmagasen, HF-Leistung und Temperaturregelung, um hochreaktive Spezies zu schaffen, die mit der Materialoberfläche interagieren, was zu einer kontrollierten Entfernung oder Modifikation des Materials führt. Eines der wichtigsten Highlights der GASONICS Aura 1000 ist die fortschrittliche Prozesssteuerung. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Überwachungs- und Messwerkzeugen ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung von Prozessparametern wie Gasfluss, Druck, Temperatur, HF-Leistung und Plasmadichte ermöglichen. So können Anwender Prozessbedingungen für maximale Effizienz und Gleichmäßigkeit optimieren, was zu verbesserter Prozesswiederholbarkeit und Produktqualität führt. Darüber hinaus bietet Aura 1000 ein hohes Maß an Automatisierungs- und Prozessanpassungsmöglichkeiten, die es Anwendern ermöglichen, die Maschine an ihre spezifischen Verarbeitungsanforderungen anzupassen. Das Tool ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die eine einfache Programmierung von Prozessrezepten, die Anpassung von Parametern und die Überwachung der Prozessleistung ermöglicht. Darüber hinaus kann das Asset mit einer Vielzahl von Software-Tools zur erweiterten Datenanalyse und Prozessoptimierung integriert werden. In Bezug auf Hardware wird GASONICS Aura 1000 mit hochwertigen Komponenten und Materialien gebaut, die langfristige Zuverlässigkeit und Stabilität gewährleisten. Das Modell verfügt über eine robuste Vakuumkammer, einen Hochleistungs-HF-Generator, eine Präzisionsgaszufuhrausrüstung und eine fortschrittliche Plasmaquelle, die eine Hochdurchsatzverarbeitung mit minimalen Ausfallzeiten ermöglicht. Aura 1000 ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu verarbeiten, darunter Siliziumscheiben, III-V-Verbindungen, Keramiken, Glas und Polymere. Das System unterstützt verschiedene Ätz- und Ascheprozesse, wie z.B. Photolackstrippen, Oxidätzen, Metallätzen, dielektrisches Ätzen und vieles mehr. Mit seinen vielseitigen Möglichkeiten und flexiblen Prozessoptionen eignet sich GASONICS Aura 1000 für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter-, MEMS, LED und anderen Hightech-Branchen. Insgesamt ist Aura 1000 eine erstklassige Ätz-/Ascher-Einheit, die unübertroffene Leistung, Zuverlässigkeit und Flexibilität für anspruchsvolle Prozessanwendungen bietet. Mit fortschrittlicher Technologie, Prozesssteuerungsfunktionen und anpassbaren Optionen ist GASONICS Aura 1000 ein wertvolles Werkzeug, um qualitativ hochwertige Ergebnisse in der Halbleiterverarbeitung und darüber hinaus zu erzielen.
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