Gebraucht GASONICS Aura 1000 #9241898 zu verkaufen

GASONICS Aura 1000 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die in der Halbleiterindustrie für Plasmaätz- und Strippprozesse bei der Herstellung integrierter Schaltungen weit verbreitet ist. Dieses fortschrittliche System verfügt über modernste Technologie und innovative Funktionen, um hohe Präzision, Zuverlässigkeit und Prozesssteuerung für kritische Halbleiterherstellungsanwendungen bereitzustellen. Aura 1000 verfügt über ein vielseitiges Kammerdesign, das eine breite Palette von Prozessfähigkeiten ermöglicht, einschließlich Ätzen verschiedener Materialien wie Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Metalle sowie Photoresist-Asche. Das Gerät ist mit mehreren Gasleitungen und Massenstromreglern ausgestattet, um die Prozesschemie und die Gasdurchflussraten genau zu steuern und eine gleichmäßige und gleichmäßige Ätz- und Ascheleistung über den Wafer zu gewährleisten. Eines der wichtigsten Highlights von GASONICS Aura 1000 ist seine fortschrittliche Plasmaerzeugungsmaschine, die eine hochfrequente HF-Stromquelle nutzt, um ein hochgleichmäßiges und stabiles Plasma in der Prozesskammer zu erzeugen. Die Plasmachemie spielt eine entscheidende Rolle bei der Bestimmung der Ätzselektivität, Ätzrate und Profilsteuerung der Wafermerkmale. Das Tool bietet anpassbare Abstimmungsoptionen für die Plasmaparameter wie Leistung, Druck, Gaszusammensetzung und Vorspannung, um die Prozessbedingungen für bestimmte Gerätestrukturen und Materialien zu optimieren. Neben der Anlage zur Plasmaerzeugung ist Aura 1000 mit einem innovativen Gasverteilungsmodell ausgestattet, das eine effiziente und gleichmäßige Zuführung von Prozessgasen zur Waferoberfläche gewährleistet. Das Gerät verfügt über eine Gasduschkopftechnik, die eine präzise Steuerung der Gasströmungsmuster und -verteilung über den Wafer ermöglicht, was zu gleichmäßigen Ätz- und Ascheraten über die gesamte Waferoberfläche führt. Das Gasverteilungssystem erleichtert auch schnelle Gasspül- und Kammerreinigungszyklen, um Prozessausfallzeiten zu minimieren und den Durchsatz zu maximieren. GASONICS Aura 1000 verfügt über erweiterte Endpunkterkennungsfunktionen, die eine Echtzeit-Überwachung des Ätz- oder Ascheprozesses und eine präzise Steuerung des Prozessendpunkts ermöglichen. Die Einheit nutzt die optische Emissionsspektroskopie (OES) oder andere ausgeklügelte Techniken, um Veränderungen der Plasmaemissionsspektren oder anderer Prozessparameter im Zusammenhang mit dem Abschluss des Ätz- oder Ascheprozesses zu erfassen. Dies ermöglicht eine genaue Endpunktdetektion und Prozesskontrolle, wodurch eine optimale Ätztiefeneinheitlichkeit und Selektivität für kritische Gerätestrukturen gewährleistet ist. Darüber hinaus verfügt Aura 1000 über eine umfassende Prozessdatenerfassungs- und Rezeptmanagement-Maschine, mit der Anwender Prozessrezepte speichern und abrufen, Prozessparameter in Echtzeit überwachen und historische Daten zur Prozessoptimierung und Fehlerbehebung analysieren können. Die benutzerfreundliche Oberfläche des Tools bietet eine intuitive Steuerung und Visualisierung der Prozessparameter, Alarme und Statusanzeigen, so dass Bediener die Ätz- oder Ascheprozesse mit minimalem Training einfach einrichten und überwachen können. Insgesamt ist GASONICS Aura 1000 ein leistungsfähiges Etcher/Ascher-Asset, das eine unübertroffene Prozesssteuerung, Präzision und Zuverlässigkeit für Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Mit seiner fortschrittlichen Plasmaerzeugung, Gasverteilung, Endpunkterkennung und Datenverwaltung bietet das Modell eine überlegene Ätz- und Strippleistung für die Herstellung integrierter Schaltungen der nächsten Generation.