Gebraucht GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9251583 zu verkaufen

Dieser Ätzer/Ascher ist eine Hochgeschwindigkeits-automatisierte nasse Prozessmaschine von IPC hergestellt. Es ist in der Lage, verschiedene Substrate wie Wafer, Dickschichten und Silizium zu ätzen und zu aschen. Das System besteht aus drei Bereichen: einem Säure/Lösungsmittel- und Umgebungsbehälter, einer Arbeitszone und einer Ofenzone. Der Säure/Lösungsmitteltank enthält einen Korbwagen, der bis zu fünfzehn 4 "/100mm Wafer aufnehmen kann und eine präzise Säurekontrolle für bis zu drei separate Tanks bietet. Die Menge an Lösungsmitteln und Säuren kann von der Maschine automatisch geregelt werden. Der Korbwagen wird zur Reinigung aus dem Tank entfernt und die Tanks können wieder aufgefüllt werden. Die Arbeitszone ist das Herzstück des Prozesses und führt die Ätz- oder Ascheaktion durch. Ein Micro-Controller betätigt einen Injektorkopf, um Säure/Lösungsmittel an die Waferstation zu liefern. Der Mikroregler steuert auch den SCR-Leistungsregler, der eine hochfrequente Energiequelle zur elektronischen Aktivierung des Ätz-/Ascheprozesses bereitstellt. Hier glänzt die Maschine wirklich, da sie gleichzeitig Ätzen/Aschen durchführen kann, während alle anderen Prozessbedingungen konstant gehalten werden. Die Ofenzone hilft, die Wafer nach dem Ätz-/Aschevorgang zu trocknen. Die Ofenkammer ist aus Edelstahl gefertigt und kann für den ultimativen Trocknungsprozess Temperaturen bis zu 700 ° C erreichen. Die Temperatur kann mit dem einstellbaren Zeit- und Temperaturparameter eingestellt und gesteuert werden. Insgesamt ist GASONICS/BRANSON/IPC 9104 ein genauer und präziser Ätzer/Ascher. Es verfügt über einen Hochgeschwindigkeitsprozess sowie einen einstellbaren Zeit- und Temperaturparametersatz. Die Maschine enthält auch eine Edelstahl-Ofenzone, um die perfekte Trocknung der geätzten/ashed Produkte zu gewährleisten. Mit dieser Maschine können Benutzer jedes Mal ausgezeichnete Ergebnisse erwarten.