Gebraucht GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9093681 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS 2000 II ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung elektronischer Produkte. Die Maschine hat eine Substratgröße von bis zu 254 mm (10 ") mit einer Musterfläche von bis zu 81 cm2 (12,6" x 6,4 "). Es kann Metalle, Dielektrika, Legierungen, Parylen-Beschichtungen und hart gebackene Photoresists ätzen. GASONICS 2000 II nutzt die patentierte GASONICS-Technologie COST Beam (Controlled Sputter through Etch) zum Plasmaätzen. Die Maschine ist für einen hohen Durchsatz in Kombination mit einer schnellen und präzisen Prozesssteuerung ausgelegt. Es ist auch mit einem automatischen BOOST Beam zur Verbesserung von Plasmaätzprozessen ausgestattet. NOVELLUS 2000 II hat einen Prozessdruckbereich von 1-4 mTorr in der Prozesskammer und eine Prozesszeit von bis zu 20 Minuten. Es hat eine hohe kritische Dimension (CD) Genauigkeit von 3,2 µm oder besser. Ein optionales Array von Quellen kann verwendet werden, um die Ätzfähigkeit der Maschine zu erweitern. Dazu gehören eine Hochleistungs-CEM-Laserquelle, DC-Sputterquelle, OES oder ECR-Plasmaquelle (Electron Cyclotron Resonance). Die Prozesstemperaturregelung ist mit einer erweiterten Kühloption gekoppelt, einschließlich einer Kombination aus Verdampfungsbasiskühlung und Konvektionskühlung nach unten. 2000 II ist eine Vollmetall-Dual-Stage-Plattform mit integriertem Substratheizsystem und Schnellgasförderung. Für Ätzprozesse können Prozesskammervolumina von 2 Litern (Low Pressure Etch) und 4,85 Liter (High Pressure Etch) verwendet werden. GASONICS/NOVELLUS 2000 II beinhaltet Prozessüberwachungsgeräte, die ein Laserspektrometer, einen Echtzeit-Partikelmonitor und einen optischen Rückansicht-Profiler enthalten. Das LT-Produkt kann zur erweiterten Prozesskontrolle verwendet werden. Es ist mit einem Benchtop Vision System für eine verbesserte Prozesssteuerung ausgestattet. GASONICS 2000 II ist ein ideales Werkzeug zum Ätzen einer breiten Palette von Materialien, aus Silber, Kupferlegierungen und Parylen-Beschichtungen, für den Einsatz in fortschrittlichen Produktionsprozessen. Mit seiner hohen Genauigkeit, Prozesskontrolle und Überwachungsausrüstung ist die Maschine eine ideale Wahl für die Herstellung hochkomplexer Muster mit minimalem Abfall.