Gebraucht GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9129593 zu verkaufen

GASONICS / NOVELLUS 2000 II
ID: 9129593
Wafergröße: 8"
Ashers, 8".
GASONICS/NOVELLUS 2000 II ist eine vollautomatische Ausrüstung zum Ätzen oder Waschen von Wafern in einer Vielzahl von Substratmaterialien. Es wurde entwickelt, um branchenführende Leistung für die anspruchsvollsten Ätz- und Ascheanwendungen zu bieten. GASONICS 2000 II basiert auf der GASONICS Integrated Technology Platform (ITP), die über zwei integrierte Optikdecks auf Laserbasis verfügt, die eine einzigartige duale Reflektorarchitektur verwenden. Dadurch erreicht das System höchste Auflösung, Qualität und Durchsatz bei Ätz- und Ascheprozessen. NOVELLUS 2000 II verfügt über eine Verarbeitung mit variablem Druck (VP), die sowohl in Ätz- als auch in Ascheanwendungen eingesetzt wird. Die VP-Verarbeitung ermöglicht je nach Material und Prozessfluss höhere und niedrigere Druckverhältnisse in der Prozesskammer. Dies hilft, die Leistung des Geräts zu optimieren und die Produktivität zu steigern. 2000 II ist auch mit einer Vielzahl von Funktionen wie Advanced Process Control (APC) ausgestattet, die es der Maschine ermöglicht, Parameter beim Ätzen und Aschen je nach Material und Prozessfluss einzustellen. Das Tool verfügt außerdem über eine optionale Multi-Process Chamber (MPC), die es ermöglicht, mehrere Ätz- und Ascheprozesse gleichzeitig oder nacheinander durchzuführen. Das Asset verfügt außerdem über eine High-End-Videounterstützungsfunktion, mit der Bediener die Waferverarbeitung in Echtzeit auf einem großen Monitor sowie ein integriertes Diagnosemodell anzeigen können. Dies hilft, die Leistung des Geräts zu überwachen und Fehler schnell zu erkennen. Schließlich verfügt GASONICS/NOVELLUS 2000 II auch über ein integriertes Wafer-Handling-System, das eine Kassettenladeeinheit und eine Armlademaschine für schwere Wafer umfasst, so dass das Werkzeug große Wafer schnell und effizient bearbeiten kann. Diese fortschrittlichen Eigenschaften von GASONICS 2000 II machen es ideal für High-End-Ätz- und Ascheanwendungen, von Halbleiterbauelementen bis hin zu MEMs, LEDs und vielem mehr. Seine hohe Präzision und Genauigkeit sind von jedem anderen Modell unübertroffen, so dass es die beste Wahl für Ätz- und Aschelabore auf der ganzen Welt ist.
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