Gebraucht GASONICS / NOVELLUS 9102 #9238248 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS 9102 ist eine Ätz-/Aschemaschine für Mikroherstellung und Nanofabrikation. Diese Maschine wird für Dünnschichtätzen und Materialsputtern verwendet, um kleinere Merkmale auf einem Substrat zu erzeugen. GASONICS 9102 ist mit zwei leistungsstarken KrF-Lasern ausgestattet, die 25nm Eigenschaften auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 4 Zoll ätzen können. Darüber hinaus ist NOVELLUS 9102 mit bis zu 4 kryogenen Abgabesystemen und 4 Ätz-/Sputterquellen ausgestattet. 9102 ist hochautomatisiert und verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Benutzer ihren Ätzprozess schnell einrichten können. GASONICS/NOVELLUS 9102 verfügt über mehrere Prozesssteuerungsfunktionen wie optische Überwachung, Druck, Temperatur und andere. Das System ist auch mit Auto-Neustart-Funktionen und einem dynamischen thermischen Steuergerät ausgestattet. GASONICS 9102 ist mit einer Vielzahl von Prozesskammern erhältlich, einschließlich Einzelkammer, Doppelkammer und Einzelmodulkammer mit einer großen Lastverriegelungskammer. Komplexere Systeme sind mit mehreren Kammern und großen Kammergrößen erhältlich. NOVELLUS 9102 ist in der Lage, mit einer außergewöhnlich hohen Geschwindigkeit zu ätzen/zu sputtern, was besonders für großvolumige Anwendungen von Vorteil ist. 9102 funktioniert gut mit verschiedenen Substraten, einschließlich Metallen, Halbleitern, Gläsern, Legierungen, Keramiken und organischen Materialien. Darüber hinaus ermöglicht die Windows-basierte GUI-Software eine Echtzeit-Prozessüberwachung und -optimierung für maximale Produktionseffizienz. GASONICS/NOVELLUS 9102 hat eine Schichtdickengenauigkeit von 0,5% oder besser und eine Wiederholbarkeit von 0,3%. Zusammenfassend ist GASONICS 9102 Ätzer/Ascher eine vielseitige Maschine, die Geschwindigkeit und Genauigkeit kombiniert, um eine hochpräzise Mikro- und Nanoproduktion zu ermöglichen. Sein hochmotorisierter Laser und sein dynamisches thermisches Steuerungswerkzeug machen ihn zu einem zuverlässigen Werkzeug im Produktionsprozess. NOVELLUS 9102 ist mit seiner benutzerfreundlichen GUI einfach zu bedienen und mit einer Vielzahl von Substraten kompatibel.