Gebraucht GASONICS / NOVELLUS A 2000LL #293595026 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS A 2000LL ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es verwendet fortschrittliche Plasmaätz- und Aschetechnologie, um ein kontrolliertes Ätzen und Aschen verschiedener Arten von Materialien mit hoher Genauigkeit zu ermöglichen. Das Gerät verwendet ein leistungsstarkes Magnetron, um ein Hochenergieplasma zu schaffen, das beim Ätzen und Aschen verschiedener Arten von Materialien sehr effizient ist. Sein fortschrittlicher Steuerungsalgorithmus zur präzisen Steuerung der Parameter sorgt für minimale Prozessvariation, Wiederholbarkeit und verbesserte Erträge. Um die gewünschten Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen, verwendet GASONICS A 2000LL ein modernes 2-Kammer-System, das eine hohe Gleichmäßigkeit und Genauigkeit beim Ätzen und Aschen ermöglicht. Der Prozess wird durch Einbringen eines Gemisches aus Ätz- und Aschgasen in die erste Kammer gestartet. Ein induktiv gekoppeltes Plasma wird durch Bestrahlung des Gases mit Hochfrequenzstrahlung erzeugt, die zum Ätzen und Aschen der Materialien verwendet wird. Am Ende des Ätz-/Aschezyklus wird das Plasma deaktiviert und die Kammer von den Prozessgasen entleert. Anschließend wird der Prozess in der zweiten Kammer durch Einleiten von frischen Ätz- und Aschgasen fortgesetzt. Dieses Gerät verwendet auch effektive Wärmemanagementtechniken für präzises Ätzen und Aschen Leistung. Der Weg der Kammer ist temperaturgeregelt, um Prozessgleichförmigkeit und Konsistenz zu gewährleisten. In dieser Kammer wird ein Hochdruckreinigungszyklus ermöglicht, der die seitliche Überbelichtung verringert. Diese Vorrichtung kann auch die Frequenz und Größe des HF-Generators je nach Anwendungsfall einstellen. Mit seiner fortschrittlichen Plasmaätz-/Aschetechnologie, leistungsstarken Magnetron- und effektiven Wärmemanagementtechniken ist NOVELLUS A 2000LL ein hervorragendes Gerät zum Ätzen und Aschen verschiedener Materialien mit hoher Genauigkeit. Es bietet ausgezeichnete Ausbeute, Prozesswiederholbarkeit und signifikante Verbesserungen in der Zuverlässigkeit.