Gebraucht GASONICS / NOVELLUS AE 2001 #293597599 zu verkaufen

ID: 293597599
Plasma etcher.
GASONICS/NOVELLUS AE 2001 ist ein Ätz-/Aschersystem zur Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien, insbesondere bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Diese Maschine wird verwendet, um eine Vielzahl von Ätz- und Ascheoperationen durchzuführen, wie Tiefenätzen, Fluorwasserstoffätzen, Sulfidätzen, Plasmaätzen und anderen. Es ist mit einer mehrzonigen dynamischen Prozesssteuerung ausgestattet, um eine präzise Temperatur- und Druckregelung zu ermöglichen, um eine optimale Verarbeitung zu ermöglichen. GASONICS AE 2001 ist aus einem bearbeiteten Aluminiumboden gefertigt. Es verfügt über eine Vakuumkammer mit Vakuumpumpe und Ventil sowie ein nach vorne eingebautes Bedienfeld. Die Prozesskammer verfügt außerdem über zwei Roboter zum Be- und Entladen von Teilen sowie zwei Heizelemente zur Erleichterung der Prozesserwärmung. Die Maschine verfügt auch über zwei chemische Abgabesysteme, eine für die Lieferung von Ätzchemikalien und eine für die Lieferung von Aschechemikalien. NOVELLUS AE2001 kann eine Vielzahl von Materialien verarbeiten, darunter Metalllegierungen, Dielektrika und Polymere. Es wird entwickelt, um konsistente Ergebnisse mit einer akzeptablen chemischen Gleichmäßigkeit, hoher Auflösung und hoher Genauigkeit zu liefern. Es verfügt auch über ein bordeigenes Digitalkamerasystem, mit dem der Prozess überwacht wird, um eindimensionale Ergebnisse zu gewährleisten. AE 2001 verfügt über eine breite Palette von Fähigkeiten und Verfahren, einschließlich Tiefenätzen, Flusskraftätzen, Sulfidätzen, Plasmaätzen, Trockenätzen, chemischen Ätzen und mehr. Jeder dieser Prozesse kann mit der gleichen Präzision und Genauigkeit automatisiert und verarbeitet werden. Die Prozesskammer ist so konzipiert, dass sie einen sicheren und ruhigen Betrieb ermöglicht und einfach zu warten und zu reinigen ist. AE2001 ist ein zuverlässiger und vielseitiger Ätzer/Ascher, der für eine breite Palette von Materialien geeignet ist. Mit seiner mehrzonigen dynamischen Prozesssteuerung, automatischen Steuerungen wie Verschlusszeiten und der Fähigkeit, im gleichen Zyklus zu ätzen und zu aschen, kann GASONICS AE2001 ein unschätzbares Werkzeug in jedem Geräteherstellungsprozess sein. Seine zuverlässigen und präzisen Ergebnisse, kombiniert mit seiner einfachen Wartung und Bedienung machen es zu einer idealen Wahl für viele Anwendungen.
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