Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293586844 zu verkaufen

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein Ätzer/Ascher, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird, um flache Oberflächen und klar definierte Bauelementstrukturen auf einem Substrat zu schaffen. GASONICS Aura 1000 besteht aus drei Hauptkomponenten: einem Gasliefermodul, einer Stromversorgung und einer physikalischen Plattform. Es wurde entwickelt, um einheitliche, hochwertige Ergebnisse für eine Vielzahl von Substratmaterialien, einschließlich Silizium, Quarz und Nitrid, zu erzielen. Das Gasfördermodul ermöglicht eine breite Palette von Prozesschemien und materialspezifischen Ablationsprozessen. Es verfügt über eine unabhängige Steuerung von bis zu vier Vorläufergasen und mehreren Argon-Trägergasen, die Flexibilität mit einzigartigen Geometrien und Schichtnummern ermöglicht. Die typischen Strömungsgeschwindigkeiten liegen zwischen 0,1 und 10 SLPM, was eine genaue Gasflussregelung ermöglicht und gleichzeitig die Menge der erforderlichen Reagenzien reduziert. Ein Druckstabilisator ist in der Lage, den Druck innerhalb der Kammer zu steuern, um die Ätzrate zu regulieren und die Bildung von Defekten an der Oberfläche zu minimieren. Die Stromversorgung bietet eine zuverlässige, hochpräzise Energiezufuhr mit ausgezeichneter Temperaturstabilität für das Gerät. Es verfügt über Pulssteuerungsfähigkeit mit einem weiten Bereich von 10 bis 100 µs. Die Stromversorgung ermöglicht auch eine hohe Leistungsabgabe von bis zu 400 Watt mit einstellbaren Impulswiederholraten und Frequenz. Die physikalische Plattform von NOVELLUS Aura 1000 ist auf Stabilität, Robustheit und Genauigkeit ausgelegt. Es misst 40 "in der Breite, 40" in der Länge und 55 "in der Höhe und ist auf einem isolierten Boden für die Schwingungsregelung montiert, Waferbruch durch Bewegung zu reduzieren. Es verfügt auch über eine große partikelfreie Prozesskammer mit einem Durchmesser von 20 ", so dass größere Wafergrößen auf einmal verarbeitet werden können. Abschließend ist NOVELLUS/Aura 1000 ein Ätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es bietet Flexibilität mit materialspezifischen Ablationsprozessen und zuverlässiger, hochpräziser Leistungsabgabe bei ausgezeichneter Temperaturstabilität. Darüber hinaus ermöglicht die große, partikelfreie Prozesskammer die Bearbeitung größerer Wafer mit größerer Genauigkeit und Stabilität, was zu klar definierten Gerätestrukturen führt.