Gebraucht GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293594312 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um fortschrittliche, hochpräzise Prozesse für die Herstellung von Sub-45nm-Geräten zu liefern. Ein herkömmlicher Ätzer wird verwendet, um unerwünschte Bereiche eines Substrats wegzuschneiden, während ein Ascher ein chemisches Verfahren verwendet, um einen Film an ein Substrat anzupassen, wodurch die Fähigkeit zum „Ätzen“ zu sehr feinen, gleichmäßigen Details gegeben wird. GASONICS Aura 1000 kombiniert die Präzision eines Aschers mit der Effizienz eines konventionellen Ätzers, um eine Lösung zu bieten, die für hohe Leistung, niedrige Kosten und Flexibilität optimiert ist. NOVELLUS Aura 1000 liefert mit zwei Magnetfiltern präzise abgestimmte und aufeinander abgestimmte Ätz- und Aschetechnologien. Der erste Filter ist ein Vakuum-Source-Pfad, der eine ultrafeine Ätzung von Strukturen mit Auflösungen bis zu 37,5 nm ermöglicht. Dies ist derzeit die beste verfügbare Auflösung in dieser Klasse von Ätz-/Aschesystemen. Das zweite Filter ist ein Inertgasquellen-Pfad, um konformes Aschen bei Auflösungen unter 45nm zu unterstützen. Aura 1000 verfügt auch über ein In-situ-Gerät zur Oberflächenbeobachtung, das optische Strahlenbildgebung in Verbindung mit einer digitalen CCD-Kamera verwendet. Dieses System bietet eine Inline-Überwachung des Oberflächenprofils und ermöglicht die Anpassung der Ätzbedingungen, um eine erhöhte Genauigkeit, Auflösung und Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Die Vorrichtung unterstützt auch die Photoresistspurenätzung zum Ätzen von Nitrid, Polysilizium und Kupferschichten sowie vielen anderen Materialien. Mehrstufige Verarbeitungsfähigkeit ist ein weiteres Merkmal von GASONICS/NOVELLUS Aura 1000. Die Einheit ermöglicht eine vollständige parallele Verarbeitung mehrerer Schichten in einem Zyklus mit bis zu 12 Etch/Asche-Stufen. Dies ermöglicht maximale Flexibilität bei der Anpassung von Ätz-/Aschebedingungen von einem Substrat zum anderen. Schließlich bietet GASONICS Aura 1000 eine Vielzahl von Prozessmodulen, die eine schnelle Anpassung an andere Ätz-/Ascheprozesse ermöglichen. Die Module bieten dem Anwender eine erhöhte Flexibilität sowie die Fähigkeit, einen höheren Durchsatz zu erzielen, ohne zusätzliche Rüstarbeiten durchführen zu müssen. Zusammenfassend ist NOVELLUS Aura 1000 ein innovativer Ätzer/Ascher, der für hohe Leistung, niedrige Kosten und Flexibilität optimiert ist. Seine beiden Magnetfilter und seine in situ Oberflächenbeobachtungsmaschine machen es zu einem Spitzengerät, das eine unübertroffene Auflösung und Wiederholbarkeit bietet. Die mehrstufige Verarbeitungsfähigkeit und Prozessmodule machen es auch zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.